The Photocatalytic Property of TiO2 Films Deposited at Low Temperature

Abstract

TiO2 films with high crystallinity were produced by inductively coupled plasma (ICP)‐assisted reactive magnetron sputtering without extra heating of the substrate. In spite of the low process temperature, the deposition rate was >400 min−1 and the polycrystalline anatase phase was obtained. The TiO2 films were characterized by X‐ray diffraction (XRD), Auger electron spectroscopy (AES), and Rutherford back‐scattering spectrometry (RBS). The photocatalytic ability of the TiO2 film was analyzed by measuring the photocurrent and decomposition rate of methylene blue. The photocatalytic ability of anatase effectively decomposed methylene blue and generated a photocurrent of over 0.2 mA · cm−2 in UV condition. The maximum open circuit voltage (Voc) was about 0.520 V.

Ανάπτυξη Τραχύτητας Κατά Την Εγχάραξη Πυριτίου Με Πλάσμα Για Μικρορευστομηχανικές Διατάξεις

“…Οι τρεις κρυσταλλικές δομές του διοξειδίου του τιτανίου α) anatase β) brookite και γ) rutile Γενικώς στη βιβλιογραφία αναφέρεται ότι το εναποτιθέμενο TiO 2 είναι άμορφο και με ανόπτηση του υμενίου σε υψηλές θερμοκρασίες > 350 ο C αρχίζουν να εμφανίζονται οι κρυσταλλικές μορφές του TiO 2 ή κατά την εναπόθεση με θέρμανση του υποστρώματος ή με Αυξάνοντας το μαγνητικό πεδίο στον θάλαμο βομβαρδισμού οι Okimura et al[Okimura 2001] κατάφερε να σχηματίσει την μορφή rutile με ανόπτηση από στους 300 ο C και έδειξε ότι με τον κανονικό θάλαμο ευδοκιμεί η μορφή anatase ενώ με το αυξημένο μαγνητικό πεδίο ευδοκιμεί η μορφή rutile. Με εφαρμογή ρυθμίσεων που χρησιμοποιούνται σε αντιδραστήρα ICP, στον θάλαμο βομβαρδισμού οι Han et al[Han 2007] κατάφεραν να εναποθέσουν κρυσταλλικό TiO 2 και των δύο μορφών κρυσταλλικότητας αλλάζοντας τις συνθήκες πίεσης και ισχύος, χωρίς περαιτέρω ανόπτηση. Μια άλλη ομάδα εναπόθεσε κρυσταλλικό TiO 2 με παλμική ιονοβολή (reactive pulse magnetron sputtering), χρησιμοποιώντας μια διαδικασία μεγάλης διάρκειας, όπου με διακύμανση των λειτουργιών (mode) μεταξύ των μονοπολικών και διπολικών παλμών έγινε εναπόθεση ΤiO 2 με μορφές anatase και rutile αντίστοιχα.…”