Η έγκριση της διατριβής από την Ανώτατη Σχολή Χημικών Μηχανικών του Εθνικού Μετσόβιου Πολυτεχνείου δεν υποδηλώνει αποδοχή των γνωμών του συγγραφέα (Ν. 5343/1932, Άρθρο 202). i Η εκπόνηση της διατριβής συγχρηματοδοτήθηκε από την Ευρωπαϊκή Επιτροπή-Ευρωπαϊκό Κοινωνικό Ταμείο, κατά 75%, και από Εθνικούς πόρους, κατά 25%, μέσω του προγράμματος ΠΕΝΕΔ 03ΕΔ202 με τίτλο: «Ανάπτυξη τραχύτητας κατά την εγχάραξη πυριτίου με πλάσμα για μικρορευστομηχανικές διατάξεις». Ανισοτροπική εγχάραξη σε πυρίτιο με μίξη αερίων………………. Παλμική μέθοδος τροφοδοσίας αερίων (Bosch process)………….. Κρυογενική μέθοδος………………………………………………. Προβλήματα εγχάραξης…………………………………………… Ομοιομορφία εγχάραξης…………………………………………... Ανισοτροπία……………………………………………………….. Υστέρηση εγχάραξης (RIE lag)…………………………………… Υλικό μάσκας -Επιλεκτικότητα και αντοχή……………………… Τραχύτητα που δημιουργείται από το πλάσμα……………………. Χαρακτηρισμός τραχύτητας των επιφανειών …………………….. Γενικά για την έννοια της τραχύτητας ……………………………. Είδη τραχύτητας…………………………………………………… Προσδιορισμός στατιστικών μεγεθών που περιγράφουν και χαρακτηρίζουν τις επιφάνειες……………………………………... Ποσοτική εκτίμηση των παραμέτρων τραχύτητας………………… Εισαγωγή στην υγρή χρωματογραφία …………………………….
scite is a Brooklyn-based organization that helps researchers better discover and understand research articles through Smart Citations–citations that display the context of the citation and describe whether the article provides supporting or contrasting evidence. scite is used by students and researchers from around the world and is funded in part by the National Science Foundation and the National Institute on Drug Abuse of the National Institutes of Health.
hi@scite.ai
10624 S. Eastern Ave., Ste. A-614
Henderson, NV 89052, USA
Copyright © 2024 scite LLC. All rights reserved.
Made with 💙 for researchers
Part of the Research Solutions Family.