MEMS switch for wireless communication circuits: fabrication process and simulation

RF MEMS tunable filter using micro fixed–fixed beam

“…The design proposed in this work is the metallic bridge suspended over a coplanar microstrip couple line. The functionality of this device is the same of a parallel plate actuator [10].…”

Mems-PCB

“…Originada na década de 70, cuja finalidade era construir sensores de pressão e temperatura, acelerômetros e outros dispositivos, a tecnologia MEMS vem abrangendo seus campos de aplicações. Hoje, além dos dispositivos já utilizados quando de seu surgimento, outras área de pesquisa estão sendo exploradas, como os sistemas sem fio ou wireless e de RF (Radio Frequency) (Cho et al, 2005) e (Kretly et al, 2005). Estes incluem chaves de RF, conhecidas como RF MEMS, deslocadores de fase, antenas reconfiguráveis, filtros sintonizáveis, comutadores, entre outros (Muldavin e Rebeiz, 1999a) (Kim e Moonil, 2006) e (Weedon et al, 2001).…”

“…As chaves MEMS são geralmente fabricadas em substratos como Silício, Arseneto de gálio, Alumina e Quartzo (Moon et al, n.d.), (Goldsmith et al, 2001) (Chan et al, 2002), (Kretly et al, 2005) e (Barker e Rebeiz, 1998) que possuem algumas vantagens em relação à placa de circuito impresso (PCB), como maior planicidade, maior constante dielétrica e compatibilidade de integração com a tecnologia CMOS (Silva, 2008). Algumas desvantagens, entretanto, têm limitado a utilização destes substratos para a construção destas chaves.…”

“…É importante destacar que apresar de ser uma tecnologia relativamente nova, mas já com aplicações avançadas, a tecnologia apresentada é desenvolvida inteiramente no Brasil, e é fruto do trabalho realizado pelo grupo do laboratório de Microeletrônica e Antenas, que possui reconhecimento internacional em projeto, fabricação e medida de dispositivos MEMS (Kretly et al, 2005), (Silva e Kretly, 2007) e (Braghetto e Kretly, 2007). Este trabalho pôde ser efetivado, devido ao intenso estudo que foi iniciado pelo Dr. André Távora.…”