Mems-PCB

Abstract

A mente que se abre a uma nova idéia jamais volta ao seu tamanho original." Albert Einstein v Dedico este trabalho aos meus pais Amaro Maurício e Vera Lúcia e meus irmãos Éricka Aline e Bruno Davis que são a minha história e minha vida vi ResumoO desenvolvimento de chaves MEMS (Micro Electro Mechanical System) de RF, usando os conceitos e a tecnologia de placa de circuito impresso (PCB) é objeto desta pesquisa. Foram fabricadas micro-chaves na configuração paralela, sobre guias de onda coplanares (CPW). Recentemente, suas aplicações vêm sendo direcionadas a circuitos mais sofisticados, onde são monoliticamente integrados com outros componentes de RF, como antenas e deslocadores de fase.As chaves desenvolvidas são projetadas para operar com baixa tensão de ativação, e fabricadas usando a técnica surface micromachining, que consiste em construir as estruturas em camadas de filmes finos, e removendo as camadas sacrificiais até a liberação da parte flexível do dispositivo.Neste trabalho é apresentada toda a metodologia do projeto, incluindo as simulações eletromecânicas e eletromagnéticas das chaves MEMS em PCB, bem como as caracterizações. As chaves mostraram desempenho compatível com dispositivos equivalentes comerciais de RF, apresentando larga banda de operação de 1,8 -18 GHz. Tendo em vista o desempenho físico e operacional dos dispositivos fabricados, essa tecnologia mostra-se viável com tecnologias dominadas localmente e se aplica tanto para Rádio Freqüência como para micro-ondas.