Kinetics of the formation and doping of silicon nanocrystals

Изменение Оптических Свойств Оксида Титана При Кристаллизации

“…Нами были рассмотрены ранее модели процессов формирования нанокристаллов при отжиге в работах [25,26]. Пленки оксида титана сразу после синтеза магнетронным методом являются рентгеноаморфными и состоят Оптика и спектроскопия, 2021, том 129, вып.…”

“…Отжиг оксида титана приводит к самоорганизации атомов и вызывает следующую трансформацию: центры кристаллизации объединяются в кластеры; кластеры уплотняются и превращаются в нанокристаллы малых размеров. Затем малые нанокристаллы продолжают расти, происходит упорядочение внутри них, при этом возникает нанокристаллы большего размера [25,26]. Эта стадия была названа коалесценцией.…”

“…Гомогенному образованию скоплений соответствует схема: A i + A ↔ A i+1 . Эта модель подходит только для роста кристаллов, которые состоят только из одного сорта атомов, например кремния [25,26]. Оксид титана состоит из атомов титана и кислорода, поэтому рост его кристаллов происходит по гетерогенному механизму.…”

“…Центры кристаллизации захватывают атомы кислорода с образованием частиц оксида и испускают вакансии кислорода (мономеры). Этот процесс описывается с помощью системы уравнений [25,26]:…”

“…Увеличение размеров центров кристаллизации (формула (3)) в результате диффузии вакансий кислорода на стоки происходит на начальной стадии процесса [25,26], когда формируется фрактальный кластер из центров зарождения, которые образовались в процессе синтеза, затем кластер продолжает уплотняться по-прежнему за счет ухода вакансий кислорода на стоки и происходит рост нанокристалла. Рост нанокристалла называется реакционным (формула (3)), если на границе центра зарождения существует потенциальный барьер.…”