Исследована зависимость кристаллографической полярности эпитаксиальных слоев GaN, полученных молекулярно-пучковой эпитаксией с плазменной активацией азота на подложках Si(111), от параметров нитридизации и начальных условий роста. Разработана экспресс-методика определения полярности эпитаксиальных слоев GaN. Экспериментально установлено, что параметры нитридизации кремниевой подложки не влияют на полярность слоя GaN. Показано, что температура нагрева подложки на этапе зарождения эпитаксиального слоя GaN является одним из факторов, определяющих его полярность. DOI: 10.21883/PJTF.2017.21.45161.16799
Исследуется влияние конструкции метаморфного буферного слоя на изменения с течением времени электрофизических характеристик метаморфных транзисторов InGaAs/GaAs с высокой подвижностью электронов. С помощью Холловских измерений показано, что транзисторная гетероструктура с метаморфным буфером на основе сверхрешеток In(Al)GaAs/InAlAs обладает наибольшими значениями концентрации и подвижности электронов в канале и наименее подвержена деградации с течением времени. DOI: 10.21883/PJTF.2017.18.45039.16643
The results obtained in a study of the synthesis of n ^+-GaN layers by plasma-assisted molecular-beam epitaxy on GaN/ c -Al_2O_3 templates are reported. In particular, a method is developed for the pre-epitaxial cleaning of the GaN surfaces of templates to remove foreign atoms. It is shown that, to form GaN layers of comparatively good quality, including those doped with silicon up to ~4 . 6 × 10^19 cm^–3, GaN template surfaces should be pre-epitaxially cleaned in a flow of activated nitrogen particles, with the substrate temperature increased from T _ S = 400 to 600°C and the substrate surface subsequently exposed to a flow of activated nitrogen at a fixed value of T _ S = 600°C for 1 h. After that the substrate temperature should be raised to T _ S = 700°C and the GaN surface finally cleaned by means of a procedure for gallium deposition/desorption.
scite is a Brooklyn-based organization that helps researchers better discover and understand research articles through Smart Citations–citations that display the context of the citation and describe whether the article provides supporting or contrasting evidence. scite is used by students and researchers from around the world and is funded in part by the National Science Foundation and the National Institute on Drug Abuse of the National Institutes of Health.