В настоящей работе сообщается об особенностях получения тонких термоэлектрических пленок p-Bi0.5Sb1.5Te3 и n-Bi2Te2.7Se0.3 с характерной толщиной ~300 нм на полиимидном материале методом импульсного лазерного осаждения. Рассмотрено влияние температуры роста, давления и расстояния между мишенью и подложкой на свойства пленок. Достигнуты высокие значения коэффициента Зеебека 220 и -200 мкВ/К, но факторы электрической мощности для пленок p- и n-типа составили 9.7 и 5.0 мкВт/см·K2 соответственно из-за достаточно высоких сопротивлений пленок. Ключевые слова: тонкие пленки, импульсное лазерное осаждение, термоэлектрический эффект, теллурид висмута, полиимид.
Radiation thermopiles are basic structures for sensors used for measuring energy parameters of different radiation with wavelength from 0.1 to 100 mcm. Current work describes features of using p-Bi0.5Sb1.5Te3 and n-Bi2Te2.7Se0.3 thin film thermopiles obtained with pulsed laser deposition method on different substrates. Thermal modeling and experimental research reveal the possibility of achieving responsivity of 1 V/W and time constant of 10 seconds with the use of polyimide substrates and absorption zone of 16 mm in diameter
scite is a Brooklyn-based organization that helps researchers better discover and understand research articles through Smart Citations–citations that display the context of the citation and describe whether the article provides supporting or contrasting evidence. scite is used by students and researchers from around the world and is funded in part by the National Science Foundation and the National Institute on Drug Abuse of the National Institutes of Health.