Досліджено вплив режимних (температура, склад та тиск газової суміші) і енергетичних характеристик (напруга, густина струму, питома потужність розряду) за безводневого азотування в тліючому розряді (БАТР) на структуру, фазовий склад азотованих шарів. Показано, що завдяки комбінації режимних та енергетичних параметрів БАТР можна досягнути фізико-хімічних показників азотованих шарів заданих умовами експлуатації. Ключові слова: безводневе азотування в тліючому розряді, фазовий склад, напруга, густина струму, питома потужність розряду.The influence of the regime (temperature, composition of a gas mixture and its pressure) and energy characteristics (voltage, current density, specific discharge power) under nonhydrogenated nitriding in a glow discharge (NHGD) on the structure, phase composition of the nitrided layers is investigated. It is shown that because of the combination of regime and energy parameters of the NHGD it is possible to reach the physical and chemical indicators for the nitrided layers assigned by the exploitation conditions.
scite is a Brooklyn-based organization that helps researchers better discover and understand research articles through Smart Citations–citations that display the context of the citation and describe whether the article provides supporting or contrasting evidence. scite is used by students and researchers from around the world and is funded in part by the National Science Foundation and the National Institute on Drug Abuse of the National Institutes of Health.