В рамках гидротермального метода разработаны приемы литографии, сов-местимой с кремниевой технологией. При этом топологические рисунки фор-мируются из ограненных микрокристаллов с развитой поверхностью. Особый интерес представляют перспективы реализации новых иерархических структур.