Формирование Литографических Рисунков Ограненными Микрочастицами Оксида Цинка На Кремниевой Подложке

Abstract

В рамках гидротермального метода разработаны приемы литографии, сов-местимой с кремниевой технологией. При этом топологические рисунки фор-мируются из ограненных микрокристаллов с развитой поверхностью. Особый интерес представляют перспективы реализации новых иерархических структур.

Направленная Самосборка Микро- И Нанопроводов Оксида Цинка

“…Разработка высоковоспроизводимых методик синтеза полупроводниковых нанопроводов и наноремней с заданными и гибко настраиваемой ориентацией, и морфологией на различных подложках (моно-, поликристаллических, аморфных) является одной из ключевых проблем нанотехнологий, ограничивающей способность изготовления интегрированных наносистем, состоящих из различных материалов [1,2]. Для формирования высокоориентированных массивов наностержней и нанопроводов разработано множество способов, описанных в различных обзорах и монографиях [3][4][5]. В работе [6] продемонстрировано использование катализатора Au−Ni для направленного роста нанопроводов GaN на подложке из оксида алюминия.…”

“…При этом на подложке, подвергнутой центрифугированию, на периферии возможно получение высокоупорядоченных массивов одномерных микро-и нанообъектов. В наших предыдущих работах [4,5] были рассмотрены приемы литографической самосборки коллоидных наночастиц для развития фрактальной нанолитографии, а также показана принципиальная возможность формирования литографических рисунков, первичными элементами которых являются ограненные микрокристаллы.…”