Strukturuntersuchung an aufgedampften mit Aluminium modifizierten Nickel/Chrom‐schichten

Abstract

Strukturuntersuchung an aufgedampften mit Aluminium modifizierten Nickel/Chrom-SchichtenDer TK des elektrischen Widerstands von aufgedampften niederohmigen Ni/Cr-Schichten wird durch Modifizierung der Schicht mit Aluminium auf Werte um Null gesenkt. Nach den Ergebnissen der rontgenographischen und der Elektronenbeugungsuntersuchungen treten in der ternaren Legierungsschicht vier Phasen auf, die a-Phasen (Cr), die ,!?-Phase (NiAl), die y-Physe (Ni) und die ?'-Phase (Ni8Al), die in der ungetemperten Widerstandsschicht einen sehr unvollkommenen Ordnungs-und Ausbildungszustand haben. Die kleinsten Werte fur den TK zeigen diejenigen Schichten, in denen entsprechend der Zusammensetzung die 8-Phase entstehen kann.The temperature coefficient of the electric resistance of evaporated low-resistive Ni/Cr layers is reduced almost to zero by modifying the layer by means of aluminium. According to the results of roentgenographic and electron diffraction, there are four phases in the ternary alloy layer: the a-phase (Cr), the ,!?-phase (NiAl), the y-phase (Ni) and the 7'phase (Ni8Al). They show a very imperfect status of arrangement and development. The lowest temperature coefficient values are to be found in those layers the composition of which renders development of the ,!?-phase possible.

Strukturuntersuchung Al‐dotierter Ni/Cr‐Schichten und Untersuchungen zur Legierungsbildung des Al‐Zusatzes zur Dotierung mit der Legierung 80Ni‐20Cr

“…Experinientell wurde gefunden, daD zur maximalen TK-Ausbeute die Al-Dotierung mit zunehmender Beschichtungszeit gleichfalls zunehinen muR. Diese Tatsache steht in Zusamnienhang mit dem ab-nehmendcn Cr-Anteil in der Schicht bei zunehmender Sublimationszeit (HUIJER u. a. ;SCHIPPEL 1970SCHIPPEL , 1976 SCHIPPEL 1975). Das Beugungsdiagrammd) der so aufgedampften Schicht enthalt sieben erkennbare Reflexe.…”

“…Bei 500 "C bis 600 "C miissen sich eine oder mehrere Zwischenphasen bilden, die daruber instabil werden. An diesen Phasen konnen auch die bevorzugt mit absublimiercnden Verunreinigungen und Zusatzelemente im Ni/Cr-Draht (SCHIPPEL 1970(SCHIPPEL , 1975(SCHIPPEL , 1976 Das Temperverhalten der Al-dotierten Ni/Cr-Schicht in Bezug auf die Widerstandsinderungeri entspricht dem Verlauf der binaren Ni/Cr-Schicht (SCHIPPEL 1969). Bis 300 "C andert sich der Widerstandswert reversibel, entsprechend dem TK.…”