Betrachtungen zur Struktur aufgedampfter Metallschichten fiir WiderstandsbauelementeDic Moglichkeit zur Bildung von mindestens zwei und mehr Phasen ist Voraussetzung zur Eignung einer aufgedampftcn Metallschicht fiir die Herstellung von Widerstandsbauelementen der Elektrotechnik. Die geforderten elektrischen Eigenschaftcn resultieren aus einer Struktur der Schicht, die von der kristallinen Ordnung abweicht. Die Struktur derartiger Schichten ist rontgenamorph, wobei die optimalen elektrischen Eigenschaften fiir das Widerstandsbauelement in einem ganz engen Bereich auftreten, der in der Kiihe der kristallinen Ordnung liegt. Die Reproduzierbarkeit der Schichteigenschaften ist von der ,,Treffsicherheit" dicser Schichtstruktur bei der Herstellung abhiingig.