Наведен о результати досліджень залежності розмірів наночастинок золота, осаджених на поверхні кремнію, від умов гальванічного заміщення (складу розчину, температури та тривалості процесу) у середовищі ДМСО. Показано, що за концентрації 2-8 m М H [AuCl 4 ] формуються сферичні наночастинки металу з доброю адгезією до підкладки. Встановлено, що фіксовані наночастинки золота проявляють високу каталітичну активність для металкаталітичного хімічного травлення кремнію з утворенням його наноструктур. Ключові слова: золото, ДМСО, кремній, гальванічне заміщення, метал-каталітичне хімічне травлення.