2018 ІÌÔ (Інститут металофізики ім. Ã. В. Курдюмова НÀН Óкраїни) Надруковано в Ó країні. Ôотокопіювання дозволено тільки відповідно до ліцензії Ключові слова: фосфід ґалію, електрохемічне щавлення, морфологія, поруваті напівпровідники, умови щавлення.