Abstract-The purpose of this paper is to fabricate a humidity sensor from organic semiconductor and to understand the effect of the transistor`s structure on the sensitivity of humidity sensor. Organic MOSFETs were fabricated using organic semiconductor called pentacene. The structures were bottom-contact and topcontact. The bottom-contact pentacene MOSFET was more sensitive to humidity than the top-contact pentacene MOSFET was. When the relative humidity increased from 20 % to 70 %, for V GS = V DS = -5 V, the magnitude of drain source current of the MOSFET decreased from 0.45 µA to 0.1 µA for bottomcontact pentacene MOSFET and from 3.6 µA to 3 µA for topcontact pentacene MOSFET. As the relative humidity increased from 20 % to 70 %, for V GS = 2 V and V DS = -5 V, the magnitude of drain source current of the MOSFET increased from 0.77 nA to 3 nA for bottom-contact pentacene MOSFET and from 0.6 nA to 1.4 nA for top-contact pentacene MOSFET. As the relative humidity increased from 20 % to 70 %, the threshold voltage shifted toward positive direction, from 0.5 V to 2 V for bottomcontact pentacene MOSFET and from 1 V to 2 V for top-contact pentacene MOSFET. The result showed that the pentacene MOSFET with bottom-contact structure was more suitable for humidity sensor than that with top-contact structure.Intisari-Tujuan makalah ini adalah untuk melakukan fabrikasi sensor kelembaban dari bahan semikonduktor organik dan untuk melihat pengaruh struktur transistor terhadap sensitivitas terhadap kelembaban. MOSFET dari bahan semikonduktor pentacene telah difabrikasi. Struktur yang difabrikasi adalah bottom-contact dan top-contact. MOSFET pentacene bottom-contact lebih sensitif terhadap kelembaban dibandingkan dengan MOSFET pentacene top-contact. Saat kelembaban relatif naik dari 20% ke 70%, besar arus drain source dari MOSFET pentacene, saat V GS = V DS = -5 V, berkurang dari 0,45 µA ke 0,1 µA untuk MOSFET pentacene bottom-contact dan berkurang 3,6 µA ke 3 µA untuk MOSFET pentacene top-contact. Sementara, saat kelembaban relatif naik meningkat dari 20% ke 70%, besar arus drain source dari MOSFET pentacene, saat V GS = 2 V, V DS = -5 V, meningkat dari 0,77 nA ke 3 nA untuk MOSFET pentacene bottom-contact dan meningkat dari 0,6 nA ke 1,4 nA untuk MOSFET pentacene topcontact. Saat kelembaban relatif naik dari 20% ke 70%, tegangan ambang bergeser dari 0,5 V ke 2 V untuk MOSFET pentacene bottom-contact dan dari 1 V ke 2 V untuk MOSFET pentacene top-contact. Hasil menunjukkan bahwa MOSFET pentacene dengan struktur bottom-contact lebih cocok untuk sensor kelembaban dibandingkan struktur top-contact.