“…但是, AAO 模板容易破裂、不耐酸碱腐蚀, 且孔径 只能控制在 10~300 nm 的纳米级范围 [8] , 这些不足 限制了其实际应用。多孔硅的机械强度高、耐化学 腐蚀, 且孔径可在纳米到微米范围内调节, 并且硅 是最常见的半导体材料, 可以很好地与半导体工艺 相结合, 大大方便了其应用。 1990 年, Lehmann 等 [9] 就采用背光照法制备多 孔硅模板。背光照方法就是通过加背面光照并利用 光刻技术、聚苯乙烯小球和离子束刻蚀等方法在 N 型 Si(100)表面预压印一层排列规整的图案, 进而在 预成核的基础之上进行电化学腐蚀, 得到有序度非 常高的孔形貌 [10][11][12][13][14][15] 。迄今为止, 此法一直是制备高 质量多孔硅模板的最佳选择之一 [16][17] , 但是其中表 面预压印的方法成本太高。为了节约生产成本, 采 用电化学随机腐蚀法来制备多孔硅模板, 利用高电 压预成核方法, 可以避免复杂的预压印成核技术。 近年来, 有学者利用纳米级多孔硅制备一维纳 米磁性材料 [18][19][20][21][22][23][24][25][26][27] 。Cheng 等 [28] 和 Kazuhiro 等 [29] 分别 在 N 型和 P 型微米级多孔硅中电沉积制备了 Cu、 Pt、Pd 和 Au 等贵金属, 发现它们都是从孔底部开 始生长并生成微米棒状结构。Katsutoshi 等 [30] 发现 在不加背光照条件下, Cu 可在 P 型多孔硅中正常生 长为微米棒, 而 Ni 的沉积必须施加背光照, 围绕着 孔壁开始生长并最终形成微米管。 然而, 在 N 型多孔 硅中沉积镍的微米管状结构的研究仍鲜有报道 [31] [32] , 三个区域没有 明确的界限(如图 1(a))。使用约 7 μm 的氧化铝研磨 [34] 。从 曲线(a)和(b)可以看出, 镍颗粒的矫顽力为 11300 A/m, 大于微米管的矫顽力 9390 A/m。这是由于在形成微 米管之前体系的缺陷和晶界更多, 畴壁位移更难, 导致矫顽力更大 [22] 。 无 机 材 料 学 报 第 31 卷 图 3 沉积不同时间的镍颗粒与镍微米管的 XRD 图谱 其中 M s 取块材饱和磁化强度 [35] 。由此法估计的 Ni 微米管退磁能为 8.55×10 4 J/m 3 , 远大于块体且结晶 完好的镍的磁晶各向异性能(5.48×10 3 J/m 3 [35] )。因 此, 退磁能是影响镍微米管磁矩分布的主要因素, 造成了镍微米管的磁各向异性。…”