2022
DOI: 10.1007/s11665-021-06504-7
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Effect of the Si/Ti Ratio on the Structure and Mechanical Properties of Plasma-Enhanced Magnetron Sputtered TiSiCN Coatings

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“… 19,20 The shift of Si 2p peak of TiSiCN coatings with different C contents is caused by changes in the coating composition and atomic bonding around Si atoms. This is consistent with the XPS analysis results in previous work 21 …”
Section: Resultssupporting
confidence: 94%
“… 19,20 The shift of Si 2p peak of TiSiCN coatings with different C contents is caused by changes in the coating composition and atomic bonding around Si atoms. This is consistent with the XPS analysis results in previous work 21 …”
Section: Resultssupporting
confidence: 94%
“…Los recubrimientos cerámicos nanocompuestos de carbonitruro de titanio y silicio (TiSiCN) tienen una alta dureza, alta tenacidad, son resistentes al desgaste y pueden tener espesores de hasta 40 µm, lo que facilita el buen desempeño en entornos de erosión severa, como en álabes de compresores aeronáuticos contra partículas sólidas y/o componentes para la exploración y transporte de petróleo y gas en alta mar [11]. Una de las técnicas más utilizadas para la deposición de este tipo de recubrimiento es el PVD Magnetron Sputtering, donde se obtiene el titanio de un blanco sólido del material, que también es expuesto a gases reactivos [12][13][14].…”
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