A b s t r a c t . Light induced changes of electronic properties are studied in glow discharge deposited a-Si: H-films by ESR, field effect, DLTS and elect,ronir transport. These effects are caused by silicon da,ngling bonds generated by recombination processes, which raise the density of states near midga,p. The concomitant, increase of potential fluctuations indicates that these defects are inhomogeneously distribnted.
Licht-induzierte metastabile Effekte in hydrogenisiertem amorphem Silizium (a-Si : H)Inlial t s u bersicht. Es wird uber Licht-induzierte Anderungender elektronischenEigenscha.ft.en von a&: H-Filmen berichtet. Dazu wurde der EinfluD liingerer Belichtung auf ESR, Feldeffekt, DLTS und Transporteigenschaftsn untersucht. Die metastabilen Effekte entstehen durch freie Si-Bindungen, die bei der Rekombination gebildet werden und zu einer Erhohung der Zustandsdiclite nahe der Mitte der verbotenen Zone fuhren. Die dabei auftretende Verstarkung von Potentialfluktuntionen dentet darauf hin, daB diese Defekte inhomogen verteilt sind.