Π‘ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ΠΌ ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ΄ΠΎΠ² ΡΠ°ΡΡΡΠΎΠ²ΠΎΠΉ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½Π½ΠΎΠΉ ΠΌΠΈΠΊΡΠΎΡΠΊΠΎΠΏΠΈΠΈ, ΡΠ°ΠΌΠ°Π½ΠΎΠ²ΡΠΊΠΎΠΉ ΡΠΏΠ΅ΠΊΡΡΠΎΡΠΊΠΎΠΏΠΈΠΈ ΠΈ ΡΠ΅Π½Ρ-Π³Π΅Π½ΠΎΠ²ΡΠΊΠΎΠ³ΠΎ ΠΌΠΈΠΊΡΠΎΠ°Π½Π°Π»ΠΈΠ·Π° ΠΏΡΠΎΠ²Π΅Π΄Π΅Π½Ρ ΠΈΡΡΠ»Π΅Π΄ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ Π²Π»ΠΈΡΠ½ΠΈΡ ΠΊΠΎΠ±Π°Π»ΡΡΠ° Π½Π° ΡΠ°Π·ΠΎΠ²ΡΠΉ ΡΠΎΡΡΠ°Π² ΠΈ Π°Π΄Π³Π΅Π·ΠΈΠΎΠ½Π½ΡΡ ΠΏΡΠΎΡΠ½ΠΎΡΡΡ ΠΎΡΠ°ΠΆΠ΄Π°Π΅ΠΌΡΡ
Π² ΠΏΠ»Π°Π·ΠΌΠ΅ Π°Π½ΠΎΠΌΠ°Π»ΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠ»Π΅ΡΡΠ΅Π³ΠΎ ΡΠ°Π·ΡΡΠ΄Π° ΠΏΠΎΠ»ΠΈΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»Π»ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ
Π°Π»ΠΌΠ°Π·Π½ΡΡ
ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΠΉ Π½Π° ΠΏΠΎΠ΄Π»ΠΎΠΆΠΊΠ°Ρ
ΠΈΠ· ΡΠ²Π΅ΡΠ΄ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠΏΠ»Π°Π²Π° WCβCo. Π£ΡΡΠ°Π½ΠΎΠ²Π»Π΅Π½ΠΎ, ΡΡΠΎ ΠΊΠ°ΡΠ°Π»ΠΈΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠ°Ρ Π°ΠΌΠΎΡΡΠΈΠ·Π°ΡΠΈΡ ΡΠ³Π»Π΅ΡΠΎΠ΄Π° ΠΏΡΠΎΠΈΡΡ
ΠΎΠ΄ΠΈΡ ΡΠΎΠ»ΡΠΊΠΎ Π² ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡΠ΅ Π½Π΅ΠΏΠΎΡΡΠ΅Π΄ΡΡΠ²Π΅Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠΈΠ½ΡΠ΅Π·Π° Π°Π»ΠΌΠ°Π·Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΡ Π·Π° ΡΡΠ΅Ρ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΎΠ³ΠΎ Π΄Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡ ΠΏΠ°ΡΠΎΠ² ΠΊΠΎΠ±Π°Π»ΡΡΠ° Π½Π°Π΄ ΠΏΠΎΠ΄Π»ΠΎΠΆΠΊΠΎΠΉ, Π° Π΄Π΅Π³ΡΠ°Π΄Π°ΡΠΈΡ ΡΠΆΠ΅ ΡΠΈΠ½ΡΠ΅Π·ΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ Π°Π»ΠΌΠ°Π·Π° ΠΏΠΎΠ΄ Π΄Π΅ΠΉΡΡΠ²ΠΈΠ΅ΠΌ ΠΊΠΎΠ±Π°Π»ΡΡΠ° ΠΏΡΠ°ΠΊΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈ ΠΎΡΡΡΡΡΡΠ²ΡΠ΅Ρ. DOI: 10.21883/JTF.2018.02.45410.2356 ΠΠ²Π΅Π΄Π΅Π½ΠΈΠ΅ Π Π½Π°ΡΡΠΎΡΡΠ΅Π΅ Π²ΡΠ΅ΠΌΡ ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΡ ΠΈΠ· ΠΏΠΎΠ»ΠΈΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»Π»ΠΈΡΠ΅-ΡΠΊΠΎΠ³ΠΎ Π°Π»ΠΌΠ°Π·Π°, ΠΎΡΠ°ΠΆΠ΄Π°Π΅ΠΌΡΠ΅ ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ΄ΠΎΠΌ Π³Π°Π·ΠΎΡΠ°Π·Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠΈΠ½ΡΠ΅Π·Π° (CVD), ΡΡΠΈΡΠ°ΡΡΡΡ Π½Π°ΠΈΠ±ΠΎΠ»Π΅Π΅ ΠΏΠ΅ΡΡΠΏΠ΅ΠΊΡΠΈΠ²Π½ΡΠΌΠΈ Π΄Π»Ρ ΠΏΠΎ-Π²ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΈΠ·Π½ΠΎΡΠΎΡΡΠΎΠΉΠΊΠΎΡΡΠΈ ΠΈ ΡΠΊΡΠΏΠ»ΡΠ°ΡΠ°ΡΠΈΠΎΠ½Π½ΡΡ
Ρ
Π°ΡΠ°ΠΊΡΠ΅-ΡΠΈΡΡΠΈΠΊ ΡΠ΅ΠΆΡΡΠ΅Π³ΠΎ ΠΈΠ½ΡΡΡΡΠΌΠ΅Π½ΡΠ° ΠΏΡΠΈ ΠΎΠ±ΡΠ°Π±ΠΎΡΠΊΠ΅ ΡΠ³Π»Π΅ΠΏΠ»Π°-ΡΡΠΈΠΊΠΎΠ², Π³ΡΠ°ΡΠΈΡΠ°, Π°Π»ΡΠΌΠΎΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠ΅Π²ΡΡ
ΡΠΏΠ»Π°Π²ΠΎΠ², Π΄ΡΠ΅Π²Π΅ΡΠΈΠ½Ρ ΠΈ Π΄Ρ. [1,2]. ΠΡΠΎ ΡΠ²ΡΠ·Π°Π½ΠΎ Ρ ΡΡΠ΄ΠΎΠΌ ΡΠ½ΠΈΠΊΠ°Π»ΡΠ½ΡΡ
ΡΠ²ΠΎΠΉΡΡΠ² Π°Π»ΠΌΠ°Π·Π½ΡΡ
ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΠΉ, ΡΠ°ΠΊΠΈΡ
ΠΊΠ°ΠΊ Π²ΡΡΠΎΠΊΠ°Ρ ΡΠ²Π΅ΡΠ΄ΠΎΡΡΡ ΠΈ ΠΈΠ·Π½ΠΎΡΠΎΡΡΠΎΠΉΠΊΠΎΡΡΡ, ΠΈΡΠΊΠ»ΡΡΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½Π°Ρ ΡΠ΅ΠΏΠ»ΠΎΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΎΡΡΡ ΠΈ Π½ΠΈΠ·ΠΊΠΈΠΉ ΠΊΠΎΡΡΡΠΈΡΠΈΠ΅Π½Ρ ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ. ΠΠ°ΠΈΠ±ΠΎΠ»ΡΡΠ΅ΠΉ ΠΈΠ·Π½ΠΎΡΠΎΡΡΠΎΠΉ-ΠΊΠΎΡΡΡΡ ΠΏΡΠΈ Π½Π°Π½Π΅ΡΠ΅Π½ΠΈΠΈ ΠΏΠΎΠ΄ΠΎΠ±Π½ΡΡ
ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΠΉ ΠΎΠ±Π»Π°Π΄Π°Π΅Ρ ΠΈΠ½ΡΡΡΡΠΌΠ΅Π½Ρ ΠΈΠ· ΡΠ²Π΅ΡΠ΄ΡΡ
ΡΠΏΠ»Π°Π²ΠΎΠ² Π½Π° ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π΅ ΠΊΠ°ΡΠ±ΠΈΠ΄Π° Π²ΠΎΠ»ΡΡΡΠ°ΠΌΠ° ΠΈ ΠΊΠΎΠ±Π°Π»ΡΡΠ° (WCβCo) [3], Π½ΠΎ Π½Π° ΠΏΡΡΠΈ Π΅Π³ΠΎ ΠΌΠ°ΡΡΠΎΠ²ΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΡ ΡΡΠΎΠΈΡ ΠΏΡΠΎΠ±Π»Π΅ΠΌΠ° Π½Π΅Π΄ΠΎΡΡΠ°ΡΠΎΡΠ½ΠΎΠΉ Π°Π΄Π³Π΅Π·ΠΈΠΎΠ½Π½ΠΎΠΉ ΠΏΡΠΎΡΠ½ΠΎΡΡΠΈ ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΡ ΠΊ ΠΏΠΎΠ΄Π»ΠΎΠΆΠΊΠ΅ [4,5]. ΠΡ-Π΄Π΅Π»ΡΠ½ΡΠ΅ ΠΊΠΎΠΌΠΏΠ°Π½ΠΈΠΈ (Cemecon, SP3 Diamond Technologies, Mitsubishi ΠΈ Π΄Ρ.) ΡΠ°Π·ΡΠ°Π±ΠΎΡΠ°Π»ΠΈ ΡΡΡΠ΅ΠΊΡΠΈΠ²Π½ΡΠ΅ ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ΄ΠΈΠΊΠΈ (Ρ
ΡΠ°Π½ΡΡΠΈΠ΅ΡΡ Π² ΡΠ΅ΠΆΠΈΠΌΠ΅ Π½ΠΎΡ-Ρ
Π°Ρ) ΡΠΏΠ΅ΡΠΈΠ°Π»ΡΠ½ΠΎΠΉ ΠΌΠ½ΠΎΠ³ΠΎΡΡΡ-ΠΏΠ΅Π½ΡΠ°ΡΠΎΠΉ ΠΏΠΎΠ΄Π³ΠΎΡΠΎΠ²ΠΊΠΈ ΠΏΠΎΠ΄Π»ΠΎΠΆΠ΅ΠΊ ΠΏΠ΅ΡΠ΅Π΄ ΠΎΡΠ°ΠΆΠ΄Π΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ Π°Π»ΠΌΠ°-Π·Π°, ΡΠ΅ΡΠ°ΡΡΠΈΠ΅ Π² ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π½ΠΎΠΉ ΡΡΠ΅ΠΏΠ΅Π½ΠΈ ΠΏΡΠΎΠ±Π»Π΅ΠΌΡ Π°Π΄Π³Π΅Π·ΠΈΠΈ. Π ΡΠΎ ΠΆΠ΅ Π²ΡΠ΅ΠΌΡ Π² Π±ΠΎΠ»ΡΡΠΎΠΌ ΡΠΈΡΠ»Π΅ Π½Π°ΡΡΠ½ΡΡ
ΠΏΡΠ±Π»ΠΈΠΊΠ°ΡΠΈΠΉ ΡΡΡΡ ΠΏΠΎΠ΄Π³ΠΎΡΠΎΠ²ΠΊΠΈ ΡΠ²Π΅ΡΠ΄ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠΏΠ»Π°Π²Π° ΠΏΠ΅ΡΠ΅Π΄ Π½Π°Π½Π΅ΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ Π°Π»-ΠΌΠ°Π·Π° ΡΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΡΡΡ ΠΈΡΠΊΠ»ΡΡΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎ ΠΊ ΡΠ΄Π°Π»Π΅Π½ΠΈΡ ΠΏΠΎΠ²Π΅ΡΡ
Π½ΠΎΡΡ-Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠ»ΠΎΡ ΠΊΠΎΠ±Π°Π»ΡΡΠ° [5][6][7], ΡΠ²Π»ΡΡΡΠ΅Π³ΠΎΡΡ ΠΊΠ°ΡΠ°Π»ΠΈΠ·Π°ΡΠΎΡΠΎΠΌ Π³ΡΠ°ΡΠΈΡΠΈΠ·Π°ΡΠΈΠΈ Π°Π»ΠΌΠ°Π·Π° [8,9]. ΠΠ·Π²Π΅ΡΡΠ½Ρ ΡΠ°Π±ΠΎΡΡ, Π³Π΄Π΅ Π°Π²ΡΠΎΡΡ ΠΎΠΏΠΈΡΡΠ²Π°ΡΡ ΡΡΡΠ΅ΠΊΡ Π³ΡΠ°ΡΠΈΡΠΈΠ·Π°ΡΠΈΠΈ Π°Π»ΠΌΠ°Π·Π° ΠΏΠΎΠ΄ Π΄Π΅ΠΉΡΡΠ²ΠΈΠ΅ΠΌ ΠΊΠΎΠ±Π°Π»ΡΡΠ° Π½Π΅ ΡΠΎΠ»ΡΠΊΠΎ Π² ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡΠ΅ ΠΎΡΠ°ΠΆΠ΄Π΅Π½ΠΈΡ, Π½ΠΎ ΠΈ ΡΡΡΠ΅ΠΊΡ Π³ΡΠ°ΡΠΈΡΠΈΠ·Π°ΡΠΈΠΈ ΡΠΆΠ΅ ΡΡΠΎΡΠΌΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ Π°Π»ΠΌΠ°Π·Π° [9,10]. Π’Π°ΠΊΠΆΠ΅ Π΅ΡΡΡ ΡΠ°Π±ΠΎΡΡ, Π² ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΡ
ΠΎΠΏΠΈΡΡΠ²Π°Π΅ΡΡΡ Π΄ΠΈΡΡΡΠ·ΠΈΡ ΠΊΠΎΠ±Π°Π»ΡΡΠ° ΠΏΠΎ Π³ΡΠ°Π½ΠΈΡΠ°ΠΌ Π°Π»ΠΌΠ°Π·Π½ΡΡ
ΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»Π»ΠΈΡΠΎΠ² ΠΈ Π΅Π³ΠΎ Π½Π΅Π³Π°ΡΠΈΠ²Π½ΠΎΠ΅ Π²Π»ΠΈΡΠ½ΠΈΠ΅ Π½Π° ΡΠΎΡΡ Π΄Π°ΠΆΠ΅ Π²Π΅ΡΡ
Π½ΠΈΡ
ΡΠ»ΠΎΠ΅Π² Π°Π»ΠΌΠ°Π·Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΠΎ-ΠΊΡΡΡΠΈΡ [10]. Π ΡΠΎ ΠΆΠ΅ Π²ΡΠ΅ΠΌΡ ΠΌΠ΅Ρ
Π°Π½ΠΈΠ·ΠΌΡ Π°ΠΌΠΎΡΡΠΈΠ·Π°ΡΠΈΠΈ Π°Π»ΠΌΠ°Π·Π° (Π½Π° ΡΠ°Π·Π»ΠΈΡΠ½ΡΡ
ΡΡΠ°Π΄ΠΈΡΡ
) ΠΏΠΎΠ΄ Π΄Π΅ΠΉΡΡΠ²ΠΈΠ΅ΠΌ ΠΊΠΎΠ±Π°Π»Ρ-ΡΠ° ΠΏΡΠ°ΠΊΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈ Π½Π΅ ΡΠ°ΡΡΠΌΠ°ΡΡΠΈΠ²Π°ΡΡΡΡ Π² Π»ΠΈΡΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠ΅, ΡΡΠΎ ΡΠΊΠ°Π·ΡΠ²Π°Π΅Ρ Π½Π° Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ
ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎΡΡΡ ΡΡΠΎΡΠ½Π΅Π½ΠΈΡ ΠΈ ΠΎΠ±ΠΎΠ±ΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΡΠΊΡΠΏΠ΅ΡΠΈΠΌΠ΅Π½ΡΠ°Π»ΡΠ½ΡΡ
Π΄Π°Π½Π½ΡΡ
Π΄Π»Ρ ΠΏΡΠ°Π²ΠΈΠ»ΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΠΎΠ½ΠΈΠΌΠ°Π½ΠΈΡ ΡΠΈΠ·ΠΈΠΊΠΈ ΠΏΡΠΎΠΈΡΡ
ΠΎΠ΄ΡΡΠΈΡ
ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡΠΎΠ².Π Π½Π°ΡΡΠΎΡΡΠ΅ΠΉ ΡΠ°Π±ΠΎΡΠ΅ ΠΏΡΠΎΠ²Π΅Π΄Π΅Π½Ρ ΠΈΡΡΠ»Π΅Π΄ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ Π²Π»ΠΈΡΠ½ΠΈΡ ΠΊΠΎΠ±Π°Π»ΡΡΠ° Π½Π° ΡΠ°Π·ΠΎΠ²ΡΠΉ ΡΠΎΡΡΠ°Π² ΠΈ Π°Π΄Π³Π΅Π·ΠΈΠΎΠ½Π½ΡΡ ΠΏΡΠΎΡΠ½ΠΎΡΡΡ ΠΎΡΠ°ΠΆΠ΄Π°Π΅ΠΌΡΡ
Π² ΠΏΠ»Π°Π·ΠΌΠ΅ Π°Π½ΠΎΠΌΠ°Π»ΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠ»Π΅ΡΡΠ΅Π³ΠΎ ΡΠ°Π·ΡΡΠ΄Π° ΠΏΠΎΠ»ΠΈΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»Π»ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ
Π°Π»ΠΌΠ°Π·Π½ΡΡ
ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΠΉ Π½Π° ΠΏΠΎΠ΄Π»ΠΎΠΆΠΊΠ°Ρ
ΠΈΠ· ΡΠ²Π΅ΡΠ΄ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠΏΠ»Π°Π²Π° WCβCo, Π° ΡΠ°ΠΊΠΆΠ΅ ΡΠ°ΡΡΠΌΠ°ΡΡΠΈΠ²Π°Π΅ΡΡΡ ΡΠΊΡΠΏΠ΅ΡΠΈΠΌΠ΅Π½ΡΠ°Π»ΡΠ½ΠΎ ΠΏΠΎΠ΄ΡΠ²Π΅ΡΠΆΠ΄Π΅Π½Π½ΡΠΉ ΠΌΠ΅Ρ
Π°Π½ΠΈΠ·ΠΌ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΠΎΠ²Π°-Π½ΠΈΡ ΡΠ»ΠΎΠ΅Π² Π°ΠΌΠΎΡΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠ³Π»Π΅ΡΠΎΠ΄Π° ΠΏΠΎΠ΄ Π΄Π΅ΠΉΡΡΠ²ΠΈΠ΅ΠΌ ΠΊΠΎΠ±Π°Π»ΡΡΠ°.
Π’Π΅Ρ
Π½ΠΈΠΊΠ° ΡΠΊΡΠΏΠ΅ΡΠΈΠΌΠ΅Π½ΡΠ°ΠΠ±ΡΠ°Π·ΡΡ ΡΠ²Π΅ΡΠ΄ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠΏΠ»Π°Π²Π°, ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΡΠ΅ΠΌΠΎΠ³ΠΎ Π² ΠΊΠ°ΡΠ΅ΡΡΠ²Π΅ ΠΏΠΎΠ΄Π»ΠΎΠΆΠ΅ΠΊ Π΄Π»Ρ Π°Π»ΠΌΠ°Π·Π½ΡΡ
ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΠΉ, ΠΏΡΠ΅Π΄ΡΡΠ°Π²Π»ΡΠ»ΠΈ ΡΠΎΠ±ΠΎΠΉ ΠΏΠΎΠ»ΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½Π½ΡΠ΅ Π΄ΠΈΡΠΊΠΈ β
20 Γ 5 mm ΠΈΠ· ΠΌΠ΅Π»ΠΊΠΎΠ·Π΅ΡΠ½ΠΈΡΡΠΎΠ³ΠΎ ΡΠΏΠ»Π°Π²Π° H10F (10% Co, ΡΠ°Π·ΠΌΠ΅Ρ Π·Π΅ΡΠ½Π° βΌ 0.9 Β΅m...