During the study of materials on electron probe devices in the field of the electron beam, a contamination hydrocarbon film is formed, which influences the results of experiments. In this paper, we studied the effect of a contamination film formed on carbon-coated dielectric samples on the intensity of cathodoluminescence and X-ray characteristic emission lines. The absorption coefficient of the film for the visible and UV ranges was determined. The mechanism of film formation for various parameters of the electron beam is discussed.
Работа посвящена исследованиям природы неоднородности люминесценции объемных образцов (GaxAl1-x)2O3, выращенных методом Чохральского. При исследовании сколов образцов методом локальной катодолюминесценции наблюдались области с различной люминесценцией. Для определения природы катодолюминесцентного контраста были проведены исследования однородности распределения алюминия, топографии поверхности, сравнение спектров люминесценции и кинетики полос излучения для различных областей образца. Также для определения природы полос люминесценции был проведен отжиг кристалла на воздухе при 1000oC. Это позволило наблюдать изменение люминесценции для того же участка образца. На основании проведенных исследований был сделан вывод о том, что неоднородная люминесценция связана с распределением точечных дефектов. При отжиге на воздухе наблюдалась трансформация центров безызлучательной рекомбинации в люминесцентные центры. Ключевые слова: оксид галлия, люминесценция, точечные дефекты.
scite is a Brooklyn-based organization that helps researchers better discover and understand research articles through Smart Citations–citations that display the context of the citation and describe whether the article provides supporting or contrasting evidence. scite is used by students and researchers from around the world and is funded in part by the National Science Foundation and the National Institute on Drug Abuse of the National Institutes of Health.