Особенности люминесценции объемных кристаллов β-(Ga-=SUB=-x-=/SUB=-Al-=SUB=-1-x-=/SUB=-)-=SUB=-2-=/SUB=-O-=SUB=-3-=/SUB=-

Abstract

Работа посвящена исследованиям природы неоднородности люминесценции объемных образцов (GaxAl1-x)2O3, выращенных методом Чохральского. При исследовании сколов образцов методом локальной катодолюминесценции наблюдались области с различной люминесценцией. Для определения природы катодолюминесцентного контраста были проведены исследования однородности распределения алюминия, топографии поверхности, сравнение спектров люминесценции и кинетики полос излучения для различных областей образца. Также для определения природы полос люминесценции был проведен отжиг кристалла на воздухе при 1000oC. Это позволило наблюдать изменение люминесценции для того же участка образца. На основании проведенных исследований был сделан вывод о том, что неоднородная люминесценция связана с распределением точечных дефектов. При отжиге на воздухе наблюдалась трансформация центров безызлучательной рекомбинации в люминесцентные центры. Ключевые слова: оксид галлия, люминесценция, точечные дефекты.