In ein kommerzielles Rasterkraftmikroskop (SFM) wurden drei Miniatur-Laserinterferometer eingebaut. Diese Modifizierung dient dazu, das SFM zu kalibrieren und seine metrologische Leistungsfähigkeit zu verbessern. Dieses SFM wird für topographische Messungen einschließlich der Kalibrierung geometrischer Normale eingesetzt.
Um den Einfluss des Abbe-Fehlers zu vermeiden, wurde eine neue Anordnung der Laserinterferometer ohne Abbe-Offset entwickelt und realisiert.
Ferner wird über eine Kombination dieses SFM mit dem Abtastsystem eines anderen kommerziellen SFM berichtet, das verschiedene alternative Abtastverfahren durchzuführen gestattet.
Schließlich wird ein Auswerteverfahren für topographische Messungen auf der Basis nicht-orthogonaler trigonometrischer Funktionen umrissen.
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