Bei Umsetzungen von Natrium‐, Kalium‐ oder Ammoniumvinylpentafluorosilikat mit Silbernitrat oder Kupfersulfat wurden Äthylen und Butadien erhalten. Trifluorvinyltrichlorsilan gab mit Antimontrifluorid Trifluorvinyltrifluorsilan, woraus sich mit Kalium‐, Natrium‐ und Ammoniumfluorid in aprotonischen Lösungsmitteln die entsprechenden Trifluorvinylpentafluorosilikate gewinnen ließen. Bei deren Umsetzung mit Silbernitrat bzw. Kupfersulfat entstanden Trifluoräthylen bzw. ein Gemisch von diesem mit Hexafluorbutadien. Das Verhältnis, in dem sich diese. Gase jeweils bildeten, ist von Menge und Art des eingesetzten Schwermetallsalzes stark abhängig.
Organopentafluorosilicate können in wäßriger Lösung entweder unmittelbar durch Umsetzen der Organotrifluorosilane mit Fluoriden oder durch Ausfällen aus Lösungen leicht löslicher Organopentafluorosilicate mit schwerlösliche Komplexsalze bildenden Kationen dargestellt werden. Da die komplexbildenden Metallfluoride z. T. selbst Fluorierungsmittel sind, können die Fluorierung trifunktioneller Organosilane und die Komplexbildung in einer Stufe erfolgen.
Trichlormethyl‐trifluorsilan wurde mit Antimon(III)‐fluorid. Diphenylantimon(III)‐fluorid, Triphenylbleifluorid und Phenylquecksilberacetat umgesetzt. Unter Abspaltung von SiF4 bildeten sich meist unbeständige Trichlormethylmetallverbindungen, die in die entsprechenden Schwermetallchloride übergingen. In reiner Form konnten Trichlormethyl‐diphenylantimon(III) 2 und Trichlormethyltriphenylblei 3 abgetrennt werden.
Gemische von Siliciumtetrachlorid und Trimethylchlorsilan können durch Umsetzen mit wäßriger Flußsäure getrennt werden. Während dabei gebildetes Trimethylfluorsilan in reiner Form entweicht, werden Chlorwasserstoff und Siliciumtetrafluorid (als H2SiF6) von der wäßrigen Lösung festgehalten. Außer HF eignen sich zu dieser Trennung auch andere, in Wasser gelöste Fluoride, wie NH4F oder NH4BF4. Mit diesen sind aber die Ausbeuten weniger hoch.
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