The effect of the formation and heat treatment modes of silicon-carbon coatings deposited by ion-beam sputtering of silicon carbide on their morphology, chemical and phase composition is determined. It has been established that an increase in the power of the ion source from 432 W to 738 W leads to a decrease in the sp3/sp2 phase ratio by 1.7 times and an increase in the ratio of Si-C/Si-O bonds by 1.9 times. It is shown that doping of carbon coatings with silicon carbide increases their heat resistance.
Аннотация. Определены морфологические особенности, фазовый состав и механические свойства легированных хромом кремний-углеродных покрытий, сформированных ионно-лучевым распылением составной мишени на основе карбида кремния и хрома. Установлено, что введение хрома в покрытие приводит к снижению концентрации кислорода, способствует структурной упорядоченности sp 2 -кластеров. Легированные хромом Si / C покрытия имеют более гладкую поверхность, характеризуются повышенной пластичностью, более низкими значениями коэффициентов трения и объемного изнашивания контртела.
scite is a Brooklyn-based organization that helps researchers better discover and understand research articles through Smart Citations–citations that display the context of the citation and describe whether the article provides supporting or contrasting evidence. scite is used by students and researchers from around the world and is funded in part by the National Science Foundation and the National Institute on Drug Abuse of the National Institutes of Health.