ЭФФЕКТИВНЫЕ УПРУГИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ КРЕМНИЕВЫХ ВЛАГОНАСЫЩЕННЫХ МЕЗОПОРИСТЫХ СТРУКТУР ВБЛИЗИ ТОЧКИ ФАЗОВОГО ПЕРЕХОДА ПРИ НАЛИЧИИ ПРОСТРАНСТВЕННОГО ОГРАНИЧЕНИЯ, "Электронная Техника. Серия 3. Микроэлектроника"

Abstract

Решается задача моделирования эффективных упругих характеристик мезопористых структур на основе кремния с адсорбированной водой, замерзшей в условиях пространственного ограничения. Построена теоретическая модель, учитывающая влияние на значения эффективных модулей упругости водонасыщенных мезопористых материалов наличия на поверхности пор естественного слоя диоксида кремния, структуры среды (отношения толщины оксидного слоя к радиусу нитевидной поры, а также ориентации пор в пространстве кремниевой мембраны) и объемного содержания элементов неоднородности. Проведены численные модельные расчеты компонент тензора эффективных модулей упругости исследуемых водонасыщенных мезопористых структур. Моделирование показало, что увеличение характерного размера включений (отношение толщины оксидного слоя к радиусу поры) приводит к уменьшению значений компонент тензора эффективных модулей упругости по закону, близкому к линейному.

Simulation of average stress values in por-Si-H2O structures near the phase transition point of water

“…Приведем ее подробное описание. В предлагаемой модели, как и в [18,19], расчеты проводятся в два этапа.…”

“…Ранее в работах [8,9,17] были представлены результаты прогнозирования физико-механических свойств водонасыщенных por-Si без учета слоя SiO 2 на поверхностях пор. В работах [18,19] показано, что учет слоя SiO 2 в указанных структурах позволяет уточнить прогнозируемые значения эффективных и локальных упругих характеристик вблизи точки фазового перехода лед -вода.…”