Оборудование Для Инструментального Индентирования – Принципы Работы И Особенности Конструирования

Abstract

Современное оборудование для инструментального наноиндентирования представляет собой сложные аппаратно-программные комплексы, проводящие прецизионные измерения малых сигналов на пределе чувствительности первичных преобразователей, входящих в их конструкцию. Для корректной работы таких измерительных приборов, получения достоверных результатов об исследуемых объектах, а также для обеспечения метрологической обоснованности таких измерений все тракты, по которым проходит первичный измеряемый сигнал, должны быть оптимизированы и согласованы по их разрешению, линейности и шумам. В данной статье обсуждаются особенности проектирования таких высокоточных приборов на примере серийного отечественного нанотвердомера модели NanoScan-4D. Рассмотрены типичные элементы, входящие в состав конструкции прибора, обсуждаются подходы к их оптимизации и управлению, а также влияние несовершенства этих узлов на работу прибора в целом.