Морфология и свойства пленок ZnO, полученных методом многократного центрифугирования на подложках пористого кремния

Abstract

Были получены слои пористого кремния (PS), многослойные пленки ZnO и гетероструктуры на их основе. Методами рентгеноспектрального энергодисперсионного анализа (EDX), рентгенофазового анализа (РФА) и растровой электронной микроскопии (РЭМ) была исследована морфология поверхности, химический и фазовый состав слоя PS и пленок ZnO, поперечный скол нанокомпозита (ZnO-PS). Проведены исследования вольт-амперных характеристик гетероструктур Al/