Морфология И Внутренняя Структура Тонких Пленок Оксида Олова, Газочувствительных К Парам Этанола При Температуре, Близкой К Комнатной

Abstract

Методом реактивного высокочастотного магнетронного распыления были получены тонкие пленки оксида олова. Было показано, что они обладают газочувствительностью к парам этанола при 38• C. Измерения морфологии и внутренней структуры скола образцов методами атомно-силовой и сканиру-ющей электронной микроскопии позволили установить, что пленки состоят из наноразмерных зерен стержневидной формы, ориентированных перпен-дикулярно подложке. Зерна разделены порами, пронизывающими пленку на всю толщину. Было установлено, что распределение зерен по их диаметру является нормальным логарифмическим и имеет несколько центров, которые соотносятся как малые целые числа, что свидетельствует о срастании зерен между собой. Минимальный размер зерна в 6 nm может соответствовать критическому размеру зародыша при выбранных условиях осаждения пленок.

Получение Пористого Вольфрама Из Пленочных Покрытий Системы Вольфрам-Кадмий

“…1 приведены результаты электронно-микроскопических исследований поверхности покрытий си-стемы вольфрам−кадмий до и после отжига. На снимках видно, что покрытие с содержанием кадмия 60.9 at.% до отжига представляет собой множество столбчатых кристаллитов, как и в работе [7], со средним поперечником 0.2−0.5 µm, а после отжига состоит из кристаллитов такого же размера, но с наличием множества глубоких трещин. В покрытии с содержанием кадмия 74.0 at.% до отжига видны крупные зерна кадмия, одно из которых образует нитевидный кристалл (вискер) длиной ∼ 20 µm, пересекающий поле зрения в правом нижнем углу снимка, сломленный у основания при манипуляциях с образцом.…”