Zur Abbildung von Isolierschichtdefekten im Elektronenspiegelmikroskop

Abstract

Anknupfcnd a n Untersuchungeii z u m Ahbildniigsverhalttri von homogenrm Isolatorschichten werdcii t'bcrlegiingcxi jzur Abhildung voii Schichtiiihomogeriitateri angestvllt, die pine Kont,rastverst,~rliiiiig diirch Aufladixngscrscheinringcri erwarteri lasscri. Dwch defiiiic.rtc M'ahl des Uritcrlagenpotrntirtls ist eine Unterscheidiing gcometrischer Schichtdefelctc (Erbeburigen, Verticfiingcii, Locher) und elektrischer Iiiliornogeiiitat,eii der Isolicrschicht (Bereiche erhoht,cr bziv. Trcrmindrrtcr Leitfiihigkeit) moglich, n i e die experiinentcllcn Untersiichungcri zeigcri. Unterscl-ieiduiigsmerl~m~~lr, fiir die einzelnc~i Piillo lassen sich angebeii. Es zeigt sich, dnD die ~arhu.eisempfindlichlrrit fur die Erfitssiing vnn Tnfiornogenit.Sit,cii in uribcdeckten Isolatorschicht,en grol3or 1st.. a,ls hri tier Uiit~ttrsiichiing leitfdhig hedeckter Schichten.Following the investigat>ions on the imaging beharionr of hornopcncoiis tlic,lrctric layrrs considerations on the pomibilitics of imaging simple layer inhomogcneitics are discBiisscd.corisideratioris imply a cniitittst amp1if:catiori by charging phtmomcria. By definite variatioii of t h r siibst,ret,c potential a dist.iiictitrii'bct,wctn ge~metrical laycr defects (protriisioris, iiitlcrit,atioiis, holes) aiid clcctricd irihomogciieities of tlir insiiluting lq7cr (wpioiis of iricLrcxased aiid clccreascci conductivity. resp.) is ~o~s i b I c * as ~l i o u i i by the rxperiniviitrtl irivcstigatioris.Critcrions for distinguishing diffrrerit cases c a n be givcii. The ~eiisitivity for tletc,ctiiig iiihomogcrieities in non-covered diclcctric layers is higher than in the case of tliosc Iicirig covered with a coriductivc: laycr.