Untersuchungen zur Frage des Plasmapotentials in der positiven Säule von Niederdruckentladungen

Abstract

ZusammenfassungDurch Integration der experimentell aus der DanYvEsTEm-Ana~yse gewonnenen Energieverteilungsfunktionen der Elektronen werden die Elektronenkonzentrationen im Plasma der positiven Saule yon Ne-und He-Niederdruckentladungen bestimmt und mit den aus der Strombilanzgleichung erhaltenen Werten verglichen. Da in die Komentrationsbestimmung aus der bei der DanYvEsmYN-Analyse ermittelten zweiten Ableitung des Sondenstromes die Lage des Plasmapotentials maDgeblich eingeht, kann man indirekt auf daa Raumpotential schliekn.Eine weitere Moglichkeit, das Plasmapotential zu bestimmen, ergibt sich am der Gegeniiberstellung von gemeesenen und berechneten Energieverteilungsfunktionen. Sowohl im Helium als auch im Neon lessen sich in erster Naherung die berechneten Verteilungsfunktionen abschnitteweise durch Standardverteilungen approximieren. Der Abfall der Verteilungsfunktion bei hohen Energien bt eine Folge der Wirk$amkeit der unelaetiachen StiiDe auf die Einatellung der Energieverteilung der Elektronen. In geeigneter Darstellung tritt bei der 1. Anregungsispannung daa betrachteten Gasa ein Knick in der 2. Ableitung der Sondenchamkteriatik auf, der erperimentell beatimmt wird. Aua der Lage diesea KnickpunkM und aus der Kenntnis der hgungespannung kann des Plasmapotential ald Bezugspunkt in der Energieskala angegeben werden. Beide Methoden weiaen darauf hin, daD das Plasmapotential im Bereich des Nulldurchganges der 2. Ableitung der Sondencharakteristik liegt.

Plasma-enhanced chemical vapor deposition of silicon dioxide

“…The Druyvesteyn [75,89,90] extension of the Langmuir and Mott-Smith probe theory [91][92][93][94][95] allows determination of the electron energy spectrum, regardless of its shape. Druyvesteyn showed that the EEDF can be obtained from expression:…”