Untersuchungen zur Lage des Raumpotentials in der 2. Ableitung der Sondencharakteristik mit Hilfe von Glühsonden

Herrmann, D.; Klagge, S.

doi:10.1002/ctpp.19720120104

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“…This will result in an I-V curve as shown in Figure 4.7. The plasma potential (V p ) is defined as the voltage at the transition point between the electron retarding and the electron saturation parts of the curve, i.e., where the second derivative is zero [78,79] Figure 4.7). When the probe potential is lower than the plasma potential, only those electrons can be collected that have a thermal velocity satisfying 1 2 m e υ 2 e > (V p − V).…”

Section: Langmuir Probementioning

confidence: 99%

Plasma-enhanced chemical vapor deposition of silicon dioxide

Boogaard¹

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Plasma-enhanced chemical vapor deposition of silicon dioxide

Boogaard¹

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Der Einfluß der Sondentemperatur und Sondengröße auf die Messung der Energieverteilungsfunktion der Elektronen im Plasma der positiven Säule

Herrmann

Klagge

1972

Contrib Plasma Phys

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Elngegangen nm 25. 7. l 9 i l Zasammeniassung I n dieser Arbeit werden automatisch aufgezeichnete zweite Ableitungen der Kennlinien von Sonden verschiedener GroDe, Formund Temperatur zur Bestimmung der Energieverteilung der Elektronen, der Elektronenkonzentration und -temperatur unter der Annahme des Raumpotentials im Nulldurchgang der 2. Ableitung ausgewertet.Bestimmt man aus den mit vemhieden groDen Sonden gemessenen Verteilungafunktionen die Elektronenkonzentration in der positiven Siiule Von H e -und Ne-Niederdruckentladungen, so erhalt man Werte, die mit einer gegen Null konvergierenden Sondenfliiche mit dem aua der Strombilanzgleichung nach [l] berechneten Wert iibereinstimmen.Die Stiirke der Sondeniufiihrungen im Verhiiltnis zur Liinge einer Zylindersonde bestimmt die effektive Sondenfliiche, so daB bei gleicher Sondenobefliche die MeSergebnisse von Sonden, deren Liinge groB gegeniiber dem Durchmesser der Zufuhrungen ist, dem berechneten Wert am niichsten kommen.Die 2. Ableitungenvon diinnenGliihaonden, diesoweit erhitzt werden, da6 die Raumladungsachicht durch die emittierten Elektronen gerade noch nicht zerstcirt wird, haben anniihernd den Verlauf der 2. Ableitung einer idealen Sonde. (Minimum, Nulldurchgang und Maximum fallen anniihernd aueammen.) Die Kermit ermittelten Werte fiir die Elektronenkonzentration stimmen gut mit den berechneten iiberein.Die Verteilungsfunktion, die aus der gemessenen ,,idealen" zweiten Ableitung einer gliihenden Sonde ermittelt wird, zeigt mehr langsame Elektronen als die Verteilungsfunktion einer kalten Sonde an.Das Maximum der Energieverteilungafunktion verschiebt sich gegeniiber den Messungen mit einer kalten Sonde zu kleineren Spannungswerten und liefert bei Maxwellverteilung Elektronentemperaturen, die mit den aus der halblogarithmiachen Daratellung der 2. Ableitung bestimmten Elektronentemperaturen iibereinstimmen.

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Zur Anwendung der Sondendiagnostik in einem polymerisierenden Plasma

Klagge

1975

Contrib Plasma Phys

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SummaryOn the exampie of the Ne glow discharge with a benzol admixture the possibility of applicating the probe diagnostic in polymerizing plaamas is investigated. Heating the probe a t 900°C stetady values for the floating potential, the probe characteristic and its second derivation are obtained. The variation with time of t.hesc: quantities without heating the probe yields informations about the rnte of polymerization. The effect of a benzol admixture from 1% to 20% on the energy distribution function of clcctrons and the plnsma parameters in the tube axis is pointed out. From the second derivationof the characteristic ;it emissive probe conditiom it is possible to deduce in nddition to the space potential the influcncc of the benrol admixture on the ionizntion mechanism.

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Untersuchungen zur Lage des Raumpotentials in der 2. Ableitung der Sondencharakteristik mit Hilfe von Glühsonden

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Plasma-enhanced chemical vapor deposition of silicon dioxide

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Der Einfluß der Sondentemperatur und Sondengröße auf die Messung der Energieverteilungsfunktion der Elektronen im Plasma der positiven Säule

Zur Anwendung der Sondendiagnostik in einem polymerisierenden Plasma

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