Über Epitaxie als Funktion der Oberflächenrealstruktur

Kleber, W.; Ickert, L.

doi:10.1515/zpch-1963-22432

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Grenzflächenstruktur und Orientierung bei der Epitaxie

Ickert

1966

Cryst Res and Technol

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Es wird eine Tfbersicht uber die bisher bekannten Behandlungen des Problems gegeben, ihre Aussagen und Gultigkeitsbereiche. Ein kurzer AbriB der Vorstellungen ziir Grenzflachenstruktur bildet in Verbindung mit der Keimbildungstheorie die Ausgangsposition;, die Orientierung wird damit als Keimbildungs-Phiinomen ausgelegt. Wie eine Uberschlagsrechnung zeigt, muB diese Vorstellung fur die Epitaxie in dunnen Schichten erweitert werden. Die Zusatze konnen durch neuere Angaben aus der Literatur gestutzt werden, wobei einige Widerspruche verstandlich werden.A review is given on the recent treatments of the problem. For this purpose theories of interface and nucleation are combined, corresponding to the usual assumption, that orientation is caused by nucleation. As a semi-quantitative calculation shows, this picture must be extended in the case of epitaxy in thin films. Recent observations join this conclusions and some contradictions may be explained.

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Grenzflächenstruktur und Orientierung bei der Epitaxie

Ickert

1966

Cryst Res and Technol

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Ein Beitrag zur Epitaxie von Alkalihalogeniden auf Calcium‐ und Bariumfluorid

Kleber

Ickert

Ahrens

1967

Cryst Res and Technol

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Alkalihalogenide (LiF, NaF, NaCI. NaBr. KCI. KBr, K J ) wurden im Hochvakurim arif (1 1 1)-Fliichen von Calcium-und Bariamfluorid aufgedampft. Vor dem Bedampfen wurden dic Triigerkristalle an der Luft gespalten. Die orientierte Kristallisation der isotypen Alkalihalogenide auf den beiden isotypen Substraten wird auf Grurid zahlreicher elektronenmikroskopischcr Aufnahmcn beschrieben und diskutiert.AuRer dcr ( 11 1)-Orientierung treten noch (100)-0rientierungen und bei den Fhioriden die (1 lO)-Orientieruny aiif. Als Grmidtendenz wird bei den Verwachsurigsgesetze~i der Einfliilj ubereinstimmender Symmctrie der simultanen Netzebenen dcutlich. Bei Variation von Triigertcmperatar und Obersiittigiing kommt die Wirkung von Obcrfliichcnstufcn nnd Adtlorptionswhichtcn arif die Epitaxic ziim Ausdruck. Dic Kcimdichte zcigt eineri Zusammenhang mit der Gitterenergie dcr Depositkristallc. Es wird drr Vcrsuch untcrnommcn. einigc Fragrri vom Standpunkt der kinetischcn Theoric dcr Epitaxic zii deutcn.Alkali halidcs (Lib', NaF. NaCI. NaBr, KCI. KBr, KJ) havc bcen dcpositcd 011 (Ill)-faces of calcium-and barium fluoride in a high vacuum. Before deposition the substrato crystals have been cleaved in air. In this paper the oriented crystallization of the isotype alkali halidcs on tho isotypo substrates, studied by mcans of numerous elcctron micrographs, is described and discussed.Besides the (111)-orientation (lOO)-orientations occur and a t the fluoridos thc (1 10)-oricntation too. Principally the orientation relations are determined by the corresponding symmetry of the simultanous faces. The effect of surfacc steps and adsorption layers on epitaxy is observed in varying substrate temperature and supersaturation. Relations exist between the density of nuclei and the lattice energy of the deposite crystals. An attempt is made to interpret certain problems from the viewpoint of the kinetic theory of epitaxy.

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