Grenzflächenstruktur und Orientierung bei der Epitaxie

Abstract

Es wird eine Tfbersicht uber die bisher bekannten Behandlungen des Problems gegeben, ihre Aussagen und Gultigkeitsbereiche. Ein kurzer AbriB der Vorstellungen ziir Grenzflachenstruktur bildet in Verbindung mit der Keimbildungstheorie die Ausgangsposition;, die Orientierung wird damit als Keimbildungs-Phiinomen ausgelegt. Wie eine Uberschlagsrechnung zeigt, muB diese Vorstellung fur die Epitaxie in dunnen Schichten erweitert werden. Die Zusatze konnen durch neuere Angaben aus der Literatur gestutzt werden, wobei einige Widerspruche verstandlich werden.A review is given on the recent treatments of the problem. For this purpose theories of interface and nucleation are combined, corresponding to the usual assumption, that orientation is caused by nucleation. As a semi-quantitative calculation shows, this picture must be extended in the case of epitaxy in thin films. Recent observations join this conclusions and some contradictions may be explained.