2017
DOI: 10.1002/sia.6292
|View full text |Cite
|
Sign up to set email alerts
|

Thickness determination of TiN and TiAl coatings on steel substrates using X‐ray diffraction method and their composition measurements by GD‐OES

Abstract: This paper presents a nondestructive X‐ray diffraction method for the accurate determination of thicknesses of polycrystalline TiN and amorphous‐like TiAl coatings deposited by DC magnetron sputtering onto thick polycrystalline stainless steel and carbon steel substrates. This method relies on the measurement of intensity loss of a substrate reflection caused by the deposition of the coating. The uncertainty of the thickness measurements by the X‐ray diffraction depends on the mass absorption coefficient of th… Show more

Help me understand this report

Search citation statements

Order By: Relevance

Paper Sections

Select...
1

Citation Types

0
0
0
1

Year Published

2018
2018
2024
2024

Publication Types

Select...
6

Relationship

0
6

Authors

Journals

citations
Cited by 6 publications
(1 citation statement)
references
References 24 publications
(60 reference statements)
0
0
0
1
Order By: Relevance
“…Используемый в настоящей работе метод определения толщины слоев TiN построен на измерении интенсивно-сти рентгеновских интерференций от материала плоской подложки под воздействием покрытия [29]. Интенсив-ность пучка, отраженного от кристаллической плоскости (hkl) образца c покрытием толщиной h и линейным коэффициентом поглощения µ TiN = 880 cm −1 , имеет вид…”
Section: определение толщины покрытия Tinunclassified
“…Используемый в настоящей работе метод определения толщины слоев TiN построен на измерении интенсивно-сти рентгеновских интерференций от материала плоской подложки под воздействием покрытия [29]. Интенсив-ность пучка, отраженного от кристаллической плоскости (hkl) образца c покрытием толщиной h и линейным коэффициентом поглощения µ TiN = 880 cm −1 , имеет вид…”
Section: определение толщины покрытия Tinunclassified