The Influence of Annealing on the Structure of Polycrystalline Permalloy Thin Films

Abstract

A study is made of the effect of annealing on the structure of permalloy polycrystalline thin films. Thin films of 85% Ni-15y0 Fe are investigated using an electron microscope at high temperatures. The results show that annealing causes the growth of irregularities in the thin film surface. I n extreme cases this may invalidate the concept of a uniform thin film thickness. The growth of crystallites is not isotropic but occurs most vigorously in the surface of the thin film.Der EinfluB einer Temperung auf die Struktur dunner polykristalliner Permalloyschichten (85% Ni-15y0 Fe) wird bei hohen Temperaturen elektronenmikroskopisch untersucht. Die Ergebnisse zeigen, daB die Temperung das Wachstum von IrregularitLten an der Oberflitche verursacht. I n extremen Fiillen kann dies die Vorstellung einer einheitlichen Schichtdicke hinfiillig machen. Das Wachstum von Kristalliten ist nicht isotrop, sondern findet hauptsachlich an der Oberfliiche der dunnen Schichten statt.