2019
DOI: 10.1007/s00339-019-2648-z
|View full text |Cite
|
Sign up to set email alerts
|

Synthesis of graphene-like passivating carbon layer into nanostructured porous silicon

Help me understand this report

Search citation statements

Order By: Relevance

Paper Sections

Select...
2
1
1
1

Citation Types

0
2
0
3

Year Published

2019
2019
2021
2021

Publication Types

Select...
4
1

Relationship

0
5

Authors

Journals

citations
Cited by 5 publications
(5 citation statements)
references
References 11 publications
0
2
0
3
Order By: Relevance
“…The formation of graphene-like structures was carried out by ethanol vapor pyrolysis using standard gas-phase chemical synthesis (CVD) technology [19]. The process was carried out under reduced pressure (1 kPa) in a stream of an inert carrier gas (2 L/h of argon 99.9999%).…”
Section: Materials and Reagentsmentioning
confidence: 99%
See 1 more Smart Citation
“…The formation of graphene-like structures was carried out by ethanol vapor pyrolysis using standard gas-phase chemical synthesis (CVD) technology [19]. The process was carried out under reduced pressure (1 kPa) in a stream of an inert carrier gas (2 L/h of argon 99.9999%).…”
Section: Materials and Reagentsmentioning
confidence: 99%
“…For the first time in this study, it is also proposed to modify the surface properties of titanium implants by forming nanostructured graphene-like layers on their surface. The synthesis of graphene-like coatings was carried out by the CVD method (chemical vapor deposition) [19].…”
Section: Introductionmentioning
confidence: 99%
“…Для создания серии образцов ПК выбран метод глубокого анодного травления монокристаллического кремния в растворе плавиковой кислоты и изопропилового спирта в соотношении 6 : 1. Такой выбор обусловлен рядом преимуществ данного метода, таких как его доступность и возможность локального формирования на пластине требуемых пористых областей; раствор электролита выбран на основе ранее полученных данных [4].…”
Section: получение образцов методом глубокого анодного травленияunclassified
“…На рис. 1, a, b представлены экспериментальные зависимости скоростей глубокого анодного травления и глубины пористого слоя от плотности анодного тока для образцов кремния марки КДБ-10 (111) в сравнении с КДБ-10 (100), что подтверждено в литературных данных [4].…”
Section: результаты и обсуждение экспериментаunclassified
See 1 more Smart Citation