Study of resonant modes in a 700 nm pitch macroporous silicon photonic crystal

Cardador, D.; Vega, Davide; Segura, D.; Rodríguez, Ángel

doi:10.1016/j.infrared.2016.11.004

“…Fabrication of macroporous silicon narrow filters.-Before photoelectrochemical etching, several pre-processes -i.e. implantation, oxidation, lithography, etc.-had to be carried out in order to prepare the samples -details can be consulted elsewhere [17][18][19][20][21][22] -. As a result of this initial step, the front surface of the samples was pre-structured with a square array of inverted pyramids separated by a pitch of 700 nm.…”

Section: Methodsmentioning

confidence: 99%

Macroporous Silicon Filters, a Versatile Platform for NDIR Spectroscopic Gas Sensing in the MIR

Maza¹,

García²,

Deriziotis³

et al. 2019

J. Electrochem. Soc.

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This paper describes the spectroscopic detection of gases using macroporous silicon photonic crystals as narrow filters. The study begins by demonstrating the feasibility of photoelectrochemical etching to fabricate narrow filters along the mid infrared band. Next, we focus on the filter centered on the carbon dioxide fingerprint. The filter response is described for three different cell lengths and concentrations below 1%. Results show a concordance with the reformulated Beer-Lambert law. This can be used to predict the response of the filter for longer path lengths and higher concentrations, showing broad working ranges and compact sizes for CO 2. In addition, optical robustness to external variations and long-term stability are also reported. Results are extrapolated to other macroporous silicon filters centered on the absorption spectra of N 2 O, OCS, NO 2 and SO 2. Finally, high sensitivity and selectivity is demonstrated by comparing them with some commercial filters.

show abstract

“…Transmission spectra, measured and simulated, for two (B) and three (C) cavities. (Cardador et al, 2017b) 5 500 NM PROCESS In the case of the lower periodicity structures that we have fabricated, the pores are also arranged in a square lattice, but of 500 nm periodicity, and the pore diameter range from around 200 nm to 350 nm. The results show straight pores with good uniformity and controlled dimensions.…”

Section: From Single Cavity To Multiple Resonant Cavitiesmentioning

confidence: 99%

Macroporous Silicon Structures in 700 Nm and 500 Nm

Rodriguez¹,

Vega²,

Llorca³

2023

Ciência E Tecnologia Para O Desenvolvimento Ambiental, Cultural E Socioeconômico II

0

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O conteúdo deste livro está licenciado sob uma Licença de Atribuição Creative Commons Atribuição-Não-Comercial NãoDerivativos 4.0 Internacional (CC BY-NC-ND 4.0). Direitos para esta edição cedidos à Editora Artemis pelos autores. Permitido o download da obra e o compartilhamento, desde que sejam atribuídos créditos aos autores, e sem a possibilidade de alterá-la de nenhuma forma ou utilizá-la para fins comerciais.A responsabilidade pelo conteúdo dos artigos e seus dados, em sua forma, correção e confiabilidade é exclusiva dos autores. A Editora Artemis, em seu compromisso de manter e aperfeiçoar a qualidade e confiabilidade dos trabalhos que publica, conduz a avaliação cega pelos pares de todos manuscritos publicados, com base em critérios de neutralidade e imparcialidade acadêmica.

show abstract

“…For example, it is possible to create resonant cavities inside the MpS samples by changing one or several cycles of the profile at a certain depth. In this way, single and multiple resonators have been designed by tailoring the modulations of the pores (Cardador et al, 2017b). These cavities create reflection and transmission peaks in the spectral response of the samples.…”

Section: Submicron Manufacturing Technologymentioning

confidence: 99%

Ciência e Tecnologia para o Desenvolvimento Ambiental, Cultural e Socioeconômico II

Medina¹

2023

0

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show abstract

Study of resonant modes in a 700 nm pitch macroporous silicon photonic crystal

Cited by 7 publications

References 16 publications

Macroporous Silicon Filters, a Versatile Platform for NDIR Spectroscopic Gas Sensing in the MIR

Macroporous Silicon Filters, a Versatile Platform for NDIR Spectroscopic Gas Sensing in the MIR

Macroporous Silicon Structures in 700 Nm and 500 Nm

Ciência e Tecnologia para o Desenvolvimento Ambiental, Cultural e Socioeconômico II

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