Structure of laser-deposited metallic alloys and multilayers

Struktur, Wachstum und Phasenumwandlungen dünner Eisen-Palladium Schichten

“…Allen mittels PLD hergestellten Filmen ist es gemein, dass sie in der Spätphase des Filmwachstums druckverspannt sind. Dies ist für solchermaßen abgeschiedene Filme nicht ungewöhnlich [117,118,119,120], und wird auch bei anderen Depositionsmethoden beobachtet, bei denen Atome mit hoher kinetischer Energie auf das Substrat treffen wie beim Sputtern [56] oder Ionenbestrahlen [121]. Bei der hohen Energie der deponierten Atome von bis zu 100 eV [74] ist damit zu rechnen, dass in den schon deponierten Schichten Punktdefekte, vor allem Zwischengitteratome, entstehen.…”