2012
DOI: 10.1016/j.sna.2012.08.035
|View full text |Cite
|
Sign up to set email alerts
|

Scaling electromechanical sensors down to the nanoscale

Help me understand this report

Search citation statements

Order By: Relevance

Paper Sections

Select...
2
2
1

Citation Types

0
20
0
11

Year Published

2014
2014
2021
2021

Publication Types

Select...
3
2
1

Relationship

0
6

Authors

Journals

citations
Cited by 43 publications
(31 citation statements)
references
References 98 publications
0
20
0
11
Order By: Relevance
“…Medutim problem je u nemogućnosti prostog skaliranja postojećih senzora za MEMS na nanometarsku skalu. U nedavno objavljenom radu grupe sa MIT-a [7] detaljno je razmotrena mogućnost skaliranja i zaključak je sledeći: prosto skaliranje nije moguće jer dovodi do a) povećanjašuma, b) smanjenja osetljivosti ili c) nemogućnosti izrade uredaja tako male dimenzije. Predlog je da se umesto senzora baziranih na bulk materijalima, iskoriste inherentno nanometarski materijali poput ugljeničnih nanotuba.…”
Section: Uvodunclassified
See 4 more Smart Citations
“…Medutim problem je u nemogućnosti prostog skaliranja postojećih senzora za MEMS na nanometarsku skalu. U nedavno objavljenom radu grupe sa MIT-a [7] detaljno je razmotrena mogućnost skaliranja i zaključak je sledeći: prosto skaliranje nije moguće jer dovodi do a) povećanjašuma, b) smanjenja osetljivosti ili c) nemogućnosti izrade uredaja tako male dimenzije. Predlog je da se umesto senzora baziranih na bulk materijalima, iskoriste inherentno nanometarski materijali poput ugljeničnih nanotuba.…”
Section: Uvodunclassified
“…Interes za prvi problem potiče iz napora da se proizvedu komercijalni (opto)elektomehanički nanouredaji (npr. nano-senzori i apsorberi), najpre na bazi nanotuba [7], a zatim na bazi grafena [9]. Druga tema postala je aktuelna 90-tih godina, preciznije od radova Teronesa (H. Terrones), Danlapa (B. Dunlap), Itoha (S. Itoh), Faulera (P.W.…”
Section: Uvodunclassified
See 3 more Smart Citations