Durch Reaktion von In, HCl und PH3 in einem Strömungsreaktor auf W‐bedeckten Graphitsubstraten ohne absichtliche Dotierung abgeschiedene In‐phosphid‐Filme sind n‐leitend und zeigen schlechte elektrische Eigenschaften, die vor allem durch "shunt"‐ Effekte der Korngrenzen bestimmt werden.