Porous silicon with embedded metal oxides for gas sensing applications

Мошников, В. А.; Gracheva, I. E.; Lenshin, A. S.; Spivak, Yu. M.; An’chkov, M. G.; Кузнецов, В. В.; Olchowik, J. M.

doi:10.1016/j.jnoncrysol.2011.10.017

Cited by 76 publications

(27 citation statements)

References 11 publications

Supporting

Mentioning

Contrasting

Unclassified

Order By: Relevance

“…It is well established that porous silicon is a promising material for a number of applications associated with micro-, nano-and optoelectronics, targeted drug delivery, and gas sensing [1] by virtue of its high specific surface area and extensive capability for surface functionalization. Composite porous silicon -silver materials can also act as a promising substrate for identification and structural characterization of various biological and chemical structures due to the presence of pronounced surface enhanced Raman scattering effect (SERS) [3] caused by collective oscillations in silver nanoparticle electron density.…”

Section: Introductionmentioning

confidence: 99%

The characterisation of nanostructured porous silicon/silver layers via Raman spectroscopy

Smerdov

Spivak

Levitsky

et al. 2018

J. Phys.: Conf. Ser.

View full text Add to dashboard Cite

Abstract. The investigation of porous silicon/silver nanostructured composite layers (PS/Ag) via Raman spectroscopy technique has been carried out. Interpretation of PS/Ag Raman spectra has been proposed. Data from films acquired by varying anodization time showed a significant shift of a Raman peak primarily located at the frequency expected for monocrystalline silicon towards lower energy. In addition to the single peak a number of low-frequency bands emerged in the Raman spectra of silver-functionalised porous silicon. These effects have been interpreted as due to the influence of functionalizing silver nanoparticles and synthesis parameters on the structure and properties of composite material. IntroductionPorous silicon (PS) and PS-based composite nanostructures are of great interest due to unique properties of such materials including photoluminescence, electroluminescence and the dependence of refraction index on porosity. It is well established that porous silicon is a promising material for a number of applications associated with micro-, nano-and optoelectronics, targeted drug delivery, and gas sensing [1] by virtue of its high specific surface area and extensive capability for surface functionalization. Composite porous silicon -silver materials can also act as a promising substrate for identification and structural characterization of various biological and chemical structures due to the presence of pronounced surface enhanced Raman scattering effect (SERS) [3] caused by collective oscillations in silver nanoparticle electron density. It should be noted that silver-functionalized porous silicon layers can be used in order to implement optical filters for fiber-optic communication systems [2], since the contemporary thin-film filters are expensive due to the necessity of ultra-high vacuum maintaining during the synthesis process.

show abstract

Section: Introductionmentioning

confidence: 99%

The characterisation of nanostructured porous silicon/silver layers via Raman spectroscopy

Smerdov

Spivak

Levitsky

et al. 2018

J. Phys.: Conf. Ser.

View full text Add to dashboard Cite

show abstract

“…Структуры на основе пористого кремния легко инте-грируются с электронным обрамлением в кремниевом технологическом цикле и благодаря развитой поверхно-сти могут служить основой для создания композитных структур для химических микро-и наносенсоров [1][2][3][4][5][6][7]. Для использования преимуществ развитой поверхности макропористого слоя в композитных структурах необхо-дима электрическая изоляция этого слоя от проводящей подложки.…”

Section: Introductionunclassified

Формирование И Свойства Захороненного Изолирующего Слоя Двуокиси Кремния В Двухслойных Структурах "Пористый Кремний-На-Изоляторе"

Болотов¹,

Князев²,

Пономарева³

et al. 2017

Физика И Техника Полупроводников

View full text Add to dashboard Cite

Изучен процесс окисления мезопористого кремния в двухслойной структуре "макропористый кремний-мезопористый кремний". Методами электронной микроскопии, эллипсометрии, электрофизическими измерениями исследована морфология и диэлектрические свойства получаемого слоя захороненного диэлектрика. Определено наличие специфического вида дефектов "шипов", возникающих при окислении стенок макропор в макропористом кремнии, границ пересечения фронтов окисления мезопористого кремния. Установлено, что при исходной пористости мезопористого кремния 60% и трехстадийном термическом окислении формируются захороненные слои двуокиси кремния с напряженностью электрического поля пробоя Ebr~ 104-105 В/cм. Показана перспективность применения многослойных структур "пористый кремний-на-изоляторе" в интегрированных химических микро- и наносенсорах. DOI: 10.21883/FTP.2017.01.8246

show abstract

“…Модифицированный осаждением металла или металлооксида слой пористого кремния (por-Si) может быть интересен для подобных практи-ческих приложений. Cоздание газочувствительных ком-позитных материалов с высокой чувствительностью и селективностью, в том числе на основе олова, сов-мещенное с традиционной кремниевой технологией, представляет интерес и для неинвазивной медицинской экспресс-диагностики [2][3][4][5]. При этом наноструктуры и нанокомпозиты на основе пористого кремния, такие как металл/por-Si и металлооксид/por-Si, могут проявлять и интересные адсорбционные и оптические свойства [5][6][7].…”

Section: Introductionunclassified

Состав Нанокомпозитов Из Тонких Слоев Олова На Пористом Кремнии, Сформированных Методом Магнетронного Распыления

Леньшин¹,

Кашкаров²,

Домашевская³

et al. 2017

Физика Твердого Тела

View full text Add to dashboard Cite

С использованием методов растровой электронной микроскопии и рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии проведены исследования особенностей морфологии и состава поверхности нанокомпозитов из тонких слоев олова на пористом кремнии, сформированных методом магнетронного распыления. Обнаружено, что сформированные нанокомпозиты в зависимости от толщины осажденного слоя олова различаются между собой соотношением основных фаз: диоксида олова, субоксида и металлического олова. При этом доля окисленного олова в фазовом составе композитов уменьшается от поверхности к объему образца. Установлено, что осаждение нанослоев олова не приводит к значительному изменению фазового состава подложки пористого кремния.

show abstract

Porous silicon with embedded metal oxides for gas sensing applications

Cited by 76 publications

References 11 publications

The characterisation of nanostructured porous silicon/silver layers via Raman spectroscopy

The characterisation of nanostructured porous silicon/silver layers via Raman spectroscopy

Формирование И Свойства Захороненного Изолирующего Слоя Двуокиси Кремния В Двухслойных Структурах "Пористый Кремний-На-Изоляторе"

Состав Нанокомпозитов Из Тонких Слоев Олова На Пористом Кремнии, Сформированных Методом Магнетронного Распыления

Contact Info

Product

Resources

About