Plasma diagnostics for the low-pressure plasma polymerization process: A critical review

Thiry, Damien; Konstantinidis, Stéphanos; Cornil, Jérôme; Snyders, Rony

doi:10.1016/j.tsf.2016.02.058

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“…Typical electron impact mass spectra (EI MS) of FMA at 4.6 Pa were acquired before and during the plasma process with RF power ranging between 2 and 20 W. Representative spectra are shown in Figure . Each signal recorded in the plasma was corrected for fragmentation due to electron impacts in the mass spectrometer by applying the following formula:

I_{normalc} true(m true) = I_{m} (normalp normall normala normals normalm normala normalo normaln) - I_{normalm} true(normalp normall normala normals normalm normala normalo normalf normalf true) \times \frac{I_{normalm normalo normaln normalo normalm normale normalr} (p l a s m a o n)}{I_{normalm normalo normaln normalo normalm normale normalr} (p l a s m a o f f)}

…”

Section: Resultsmentioning

confidence: 99%

Continuous-Wave RF Plasma Polymerization of Furfuryl Methacrylate: Correlation Between Plasma and Surface Chemistry

Saboohi

Al-bataineh

Shirazi

et al. 2016

Plasma Process. Polym.

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The plasma phase of furfuryl methacrylate (FMA) and its relationship to the surface chemistry of the generated plasma coatings was investigated utilizing mass spectrometry. Positive ion mass spectra from plasma phase and plasma coatings of FMA revealed that furanylmethyl fragment (F M , 81 m/z) has high stability and form oligomers with itself and other species in the plasma phase and on the surface. Combined with ion flux and deposition rate data, the correlation between the normalized intensities of positive fragments from the mass spectra of the neutrals and plasma coatings suggests that neutrals were a major contributor to the plasma film growth. These findings highlight the potential of plasma phase diagnostic tools to predict the chemistry of neutral and positive species, and their role in thin film deposition.

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I_{normalc} true(m true) = I_{m} (normalp normall normala normals normalm normala normalo normaln) - I_{normalm} true(normalp normall normala normals normalm normala normalo normalf normalf true) \times \frac{I_{normalm normalo normaln normalo normalm normale normalr} (p l a s m a o n)}{I_{normalm normalo normaln normalo normalm normale normalr} (p l a s m a o f f)}

…”

Section: Resultsmentioning

confidence: 99%

Continuous-Wave RF Plasma Polymerization of Furfuryl Methacrylate: Correlation Between Plasma and Surface Chemistry

Saboohi

Al-bataineh

Shirazi

et al. 2016

Plasma Process. Polym.

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“…Durante sus investigaciones, observo que los iones y electrones de un gas fuertemente ionizado se comportaba de manera similar al plasma de la sangre [3,28].…”

Section: Plasmaunclassified

“…El mecanismo general de polimerización por plasma implica tanto la fase gaseosa como las reacciones que suceden en la superficie. El estado inicial consiste en la vaporización de un precursor orgánico, se producen radicales libres y especies excitadas por la colisión de electrones e iones con las moléculas del monómero o por la disociación de especies químicas absorbidos sobre la superficie de la muestra [3,8]. De hecho, los radicales poseen un electrón desapareado y por lo tanto son altamente reactivos hacia otros radicales o hacia reacciones de adición con moléculas insaturadas (con dobles o triples enlaces.)…”

Section: Mecanismos De Polimerización Por Plasmaunclassified

“…Durante los procesos de modificación por plasma, la superficie del sustrato se bombardea por especies gaseosas activadas por el plasma [2,3]. Este proceso ha sido sumamente importante para la generación de aplicaciones modernas como materiales biomédicos, materiales antimicrobianos y soportes para la inmovilización de biomoléculas, proliferación de células, ingeniería de tejidos y ultrafiltración [3,4].…”

Section: Capítulo I Introducción 11 Antecedentesunclassified

“…Los materiales producto de este tipo de polimerización, presentan propiedades fisicoquímicas interesantes, como: buena adhesión, espesor controlable, así como propiedades mecánicas deseables debido a que son macromoléculas altamente reticuladas [2,5]. Por otro lado, el interés por películas sintetizadas por plasma es debido a la posibilidad de modificar la concentración y distribución de los grupos funcionales específicos en la superficie que incluyen: carboxilo (-COOH), hidroxilo (-OH), aminas primarias y secundarias (-NHx), ésteres (-COOR), cetonas (-COR), grupos con flúor (-CFx), bromuros (-Br) y tiofeno [3]; entre otros. El mecanismo general de la polimerización por plasma implica tanto la fase gaseosa y las reacciones en la superficie [6].…”

Section: Capítulo I Introducción 11 Antecedentesunclassified

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