Übersicht:Bei integrierten Analogfiltern werden die Sollwerte der zu realisierenden Filterparameter durch Vorlagen-und Herstellungstoleranzen verfälscht. Diese Sollwertabweichungen werden für einen MOS-Kondensator im einzelnen untersucht. Dabei wird angegeben, welche Toleranzen von der Vorlagenund welche von der Maskenherstellung verursacht werden. Am Beispiel eines CCD-Transversalfilters für einen PCM-Codec wird gezeigt, daß bestimmte Toleranzquellen durch geschickten Schaltungsentwurf eliminiert werden können und wie stark die verbleibenden Toleranzquellen die Übertragungscharakteristik beeinflussen. Ein Vergleich von berechneten und gemessenen Filterschaltungen zeigt, daß die mögliche Schaltungsausbeute anhand der angegebenen Toleranzen gut abgeschätzt werden kann.Abstract: When realizing integrated analog filters the nominal values of the filter parameters are influenced by tolerances in mask generation and device fabrication. These tolerances are evaluated for a MOS capacitor and assigned to mask generation and device fabrication, respectively. Using a CCD transversal filter for a PCM system as an example it is shown that certain tolerances which are constant on a chip can be eliminated by design cleverness. The influence of the remaining statistical tolerances on the transfer characteristic is calculated. A good agreement is shown between calculated and measured filter transfer functions. This way the yield for given tolerances can be predicted quite well.Für die Dokumentation: MOS-Technologie / Vorlagentoleranz / Herstellungstoleranz / Monolithisch integriertes Filter / Transversalfilter / CCD 1. Einleitung Integrierte Analogfilter werden in der Regel so entworfen, daß die Übertragungscharakteristik weitgehend durch Kapazitätsverhältnisse bestimmt wird. Diese müssen sehr genau realisiert werden, da der Einsatz dieser Systeme nur dann sinnvoll erscheint, wenn ohne einen nachträglichen Filterabgleich eine ausreichend hohe Ausbeute zu erwarten ist. Durch Herstellungstoleranzen werden die gewünschten Kapazitätsverhältnisse aber verfälscht und damit die Ausbeute an Schaltungen, welche die Filterspezifikationen erfüllen, verringert. Diese Toleranzen treten sowohl bei der Vorlagen-als auch bei der Schaltungsherstellung auf. Die Art der einzelnen Toleranzen, ihre Größenordnung und ihr Einfluß auf die zu realisierende Übertragungsfunktion soll im folgenden untersucht und ermittelt werden.