Optical coefficients of nanometer-thick copper and gold films in microwave frequency range

Khorin, I. A.; Orlikovsky, N.A.; Rogozhin, A. E.; Tatarintsev, A. A.; Пронин, С. В.; Андреев, В. Г.; Vdovin, V. A.

doi:10.1117/12.2266504

Cited by 3 publications

(1 citation statement)

References 14 publications

Supporting

Mentioning

Contrasting

Unclassified

Order By: Relevance

“…Определяющую роль здесь играют межзеренные контакты, структура и ориентация самих зерен [14,15]. Наличие окисного слоя меди в пленках толщиной несколько нанометров, а также неоднородности в виде отдельных зерен на поверхности пленок меди были отмечены авторами в [16]. Проводимость пленок в диапазоне 5−12 nm следует рассчитывать исходя из теории эффективной среды [14,15].…”

Section: заключениеunclassified

Оптические коэффициенты пленок меди нанометровой толщины в диапазоне 9--11 GHz

Вдовин¹,

Андреев²,

Глазунов³

et al. 2019

Журнал Технической Физики

View full text Add to dashboard Cite

The reflection, transmission, and absorption coefficients of ultrathin copper films on a quartz substrate in a waveguide at frequencies of 9–11 GHz were measured. Films less than 5 nm thick are almost completely oxidized and transparent to microwave radiation. A conductive layer is formed when the film thickness exceeds 5 nm, however, the reflection coefficient increases with a thickness in the range of 5-15 nm more slowly than it follows from calculations utilized the model conductivity of a continuous film. The results can be explained by the morphology of the films.

show abstract