LiTaO 3 samples were implanted with 50, 80, 120, and 150 keV H + ions. The damage profiles in LiTaO 3 induced by H + ions were investigated using the Rutherford backscattering/channeling technique. We used TRIM (transport of ions in matter) to simulate it. It was found that the shape of the experimental damage profile was similar to one predicted by TRIM'98, but the experimental damage ratio (N D /N) was higher than the calculated damage ratio based on TRIM'98. The modes in LiTaO 3 were measured by a prism-coupling method for all samples. The modes were observed only for LiTaO 3 implanted with 80, 120, and 150 keV H + ions. The present result shows that optical wave guides in LiTaO 3 can be formed by lower energy H + ions. 61.85+p, 78.20Ci Résumé : Nous avons implanté des ions H + de 50, 80, 120 et 180 keV dans des échantillons de LiTaO 3 . La technique de diffusion arrière de Rutherford a permis d'étudier le profil des dommages causés par ce bombardement dans le LiTaO 3 . Nous le simulons à l'aide de TRIM (Transport d'Ions dans la Matière). Il y a un bon accord entre le profil expérimental des dommages et le profil obtenu de la simulation TRIM'98, sauf le rapport expérimental de dommage (N D /N ) qui est plus élevé que celui prédit par TRIM'98. Par la méthode des prismes couplés, nous avons mesuré les modes dans les échantillons de LiTaO 3 implantés par des ions de 80, 120 et 150 keV. Nos résultats montrent que les ions de plus basse énergie peuvent former des guides d'onde optiques dans le LiTaO 3 .[Traduit par la Rédaction]