As shown, the magnetron sputtering is effective for the synthesis of various nanostructured phases of nickel nitride (solid solution of nitrogen in nickel, Ni 4 N, Ni 3 N, and Ni 2 N). The regularities of formation of globular or nanocolumnar film structures are determined, depending on the concentration of nitrogen in the buffer gas. Показано, що магнетронне розпорошення є ефективним для синтези різноманітних наноструктурних фаз нітриду ніклю (твердий розчин Нітроґену у ніклі, Ni 4 N, Ni 3 N та Ni 2 N). Визначено закономірності утворення наноколонарних або ґлобулярних плівкових структур системи Ni-N залежно від концентрації азоту у буферному газі. Показано, что магнетронное распыление эффективно для синтеза различных наноструктурных фаз нитрида никеля (твёрдый раствор азота в никеле, Ni 4 N, Ni 3 N и Ni 2 N). Определены закономерности образования наноколонарных или глобулярных плёночных структур системы Ni-N в зависимости от концентрации азота в буферном газе.