Gas-Phase Synthesis of Film Structures of Ni—N System

Abstract

As shown, the magnetron sputtering is effective for the synthesis of various nanostructured phases of nickel nitride (solid solution of nitrogen in nickel, Ni 4 N, Ni 3 N, and Ni 2 N). The regularities of formation of globular or nanocolumnar film structures are determined, depending on the concentration of nitrogen in the buffer gas. Показано, що магнетронне розпорошення є ефективним для синтези різноманітних наноструктурних фаз нітриду ніклю (твердий розчин Нітроґену у ніклі, Ni 4 N, Ni 3 N та Ni 2 N). Визначено закономірності утворення наноколонарних або ґлобулярних плівкових структур системи Ni-N залежно від концентрації азоту у буферному газі. Показано, что магнетронное распыление эффективно для синтеза различных наноструктурных фаз нитрида никеля (твёрдый раствор азота в никеле, Ni 4 N, Ni 3 N и Ni 2 N). Определены закономерности образования наноколонарных или глобулярных плёночных структур системы Ni-N в зависимости от концентрации азота в буферном газе.