2021
DOI: 10.1007/s00339-021-05229-7
|View full text |Cite
|
Sign up to set email alerts
|

Magnetron deposition of a-C:ND coatings by nanodiamond transfer: pulse number impact on aggregation and graphitization

Help me understand this report

Search citation statements

Order By: Relevance

Paper Sections

Select...
3
2

Citation Types

1
7
0
4

Year Published

2022
2022
2023
2023

Publication Types

Select...
5

Relationship

1
4

Authors

Journals

citations
Cited by 5 publications
(12 citation statements)
references
References 46 publications
1
7
0
4
Order By: Relevance
“…Для пленок, содержащих sp 2 -и sp 3 -углерод, увеличение или уменьшение соотношения интенсивности данных линий соответствует возрастанию или снижению доли sp 2 -гибридизованных атомов углерода по отношению к sp 3 -гибридизованному углероду в структуре пленки [39]. В настоящей работе для оценки соотношения пиков использовался метод трех гауссиан [40,41]. В рамках данного описания наиболее интенсивный пик 1s → π * перехода фиттируется одной гауссовой линией, не учитывающей его ассиметричный характер.…”
Section: схпээunclassified
See 1 more Smart Citation
“…Для пленок, содержащих sp 2 -и sp 3 -углерод, увеличение или уменьшение соотношения интенсивности данных линий соответствует возрастанию или снижению доли sp 2 -гибридизованных атомов углерода по отношению к sp 3 -гибридизованному углероду в структуре пленки [39]. В настоящей работе для оценки соотношения пиков использовался метод трех гауссиан [40,41]. В рамках данного описания наиболее интенсивный пик 1s → π * перехода фиттируется одной гауссовой линией, не учитывающей его ассиметричный характер.…”
Section: схпээunclassified
“…Хайдаров, О.А. Стрелецкий связанных с примесями, приводит к существенной погрешности в определении соотношения sp 2 /sp 3 -углерода при помощи СХПЭЭ [41]. В то же время, данный метод представляется авторам более подходящим для анализа sp 2 /sp 3 -соотношения исследуемых покрытий по сравнению с разложением C1s-линии спектра рентгеновских фотоэлектронов (РФЭ), часто применяющимся для анализа углеродных материалов [43].…”
Section: схпээunclassified
“…Стоит отметить, что как PVD-(физическое осаждение из газовой фазы), так и CVD-процесс позволяет в ходе одноэтапного технологического процесса формировать структуры, содержащие наноалмазную и аморфную фазы (a-C : ND-структуры), свойства которых в существенной степени изменяются при вариации параметров осаждения [13][14][15][16]. В [15] показано, что наноалмазы, инкапсулированные в матрицу аморфного углерода, возможно формировать путем магнетронного распыления наноалмазной мишени. В то же время, согласно [15], из-за воздействия плазмы на мишень свойства таких покрытий существенно зависят от времени осаждения.…”
Section: Introductionunclassified
“…В [15] показано, что наноалмазы, инкапсулированные в матрицу аморфного углерода, возможно формировать путем магнетронного распыления наноалмазной мишени. В то же время, согласно [15], из-за воздействия плазмы на мишень свойства таких покрытий существенно зависят от времени осаждения. Это затрудняет создание покрытий с желаемыми параметрами и толщиной при помощи PVD-методик.…”
Section: Introductionunclassified
“…In its turn, the Coulomb repulsion of the charged NDs during their transfer to the substrate resulted in the dispersion of detonation nanodiamond particles embedded into the sp 3 -rich amorphous carbon film. As a result, a-C:ND coatings with uniformly distributed DND inclusions were produced by using magnetron sputtering of nanodiamond powder [6]. This technique ensuring uniform dispersion of DND inclusions in a matrix may be beneficial for a number of applications.…”
Section: Introductionmentioning
confidence: 99%