Унимодальное и бимодальное распределение серебряных наночастиц в a-C : Ag-структурах с различным соотношением sp-=SUP=-2-=/SUP=-/sp-=SUP=-3-=/SUP=--углерода, изготовленных методом низкоэнергетического ионно-ассистированного импульсно-плазменного осаждения

Abstract

Представлены результаты исследования аморфных углеродных покрытий с инкапсулированными серебряными наночастицами (a-C : Ag). Методом просвечивающей электронной микроскопии показано, что введение низкоэнергетического (100-300 eV) ионного ассистирования в процесс импульсно-плазменного осаждения может в различных случаях привести как к унимодальному, так и к бимодальному распределению серебряных включений по размерам. Установлено, что характер распределения определяется мощностью импульсно-плазменного источника. Рассмотрено влияние вариации потока осаждающихся частиц на процесс ионно-индуцированной поверхностной диффузии на поверхности покрытий. Показано, что данный процесс в совокупности с ионно-индуцированным формированием центров зародышеобразования оказывает влияние на характер распределения серебряных включений по размерам. С помощью спектроскопии характеристических потерь энергии электронов установлено, что изменение поверхностной концентрации серебряных наночастиц коррелирует с соотношением sp2- и sp3-гибридизованных атомов углерода. Ключевые слова:импульсно-плазменное напыление; ионная стимуляция; углерод-серебряный композит; бимодальное распределение частиц; соотношение sp2- и sp3-гибридизованного углерода.