LED magneto-optical ellipsometer with the switching of orthogonal polarization states

Rukovishnikov, A.I.; Rossukanyi, N.M.; Ковалев, С. В.; Kovalev, V. I.; Amelichev, V. V.; Kostyuk, D. V.; Vasil’ev, D. V.; Orlov, E. P.

doi:10.1134/s0020441216040084

Cited by 9 publications

(2 citation statements)

References 9 publications

Supporting

Mentioning

Contrasting

Order By: Relevance

“…To overcome these limitations, we propose a SE with switching orthogonal polarization states (SOPS), since it has a number of advantages and does not contain moving polarization elements. In publications [12,13,15] technical indicators of spectral ellipsometers with switching orthogonal polarization states for various purposes are given.…”

Section: Introductionmentioning

confidence: 99%

“…The use of an original built-in monochromator provides a spectral resolution of 4 nm. LED magneto-optical SEs with SOPS [15] are the implementation of the deepest azimuthal modulation, the use of a two-channel detector, the use of a set of LEDs providing a high signal/noise ratio, and the absence of moving polarizing elements. These features significantly increased the accuracy of measuring the ellipsometric parameters Ψ and Δ of ferromagnetic materials and their changes (δΨ and δΔ) in a magnetic field.…”

Section: Introductionmentioning

confidence: 99%

See 1 more Smart Citation

ELIPSOMETRYCZNY SYSTEM SPEKTROSKOPOWY DO SZYBKIEJ OCENY SKŁADU CIENKICH WARSTW Bi2Te3-XSeX

Kovalev

Uvaysov

Bogucki

2021

IAPGOS

View full text Add to dashboard Cite

W artykule najpierw dokonano analizy porównawczej obecnego stanu rozwoju elipsometrii spektroskopowej oraz określono główne ograniczenia typowe dla popularnych konfiguracji urządzeń pomiarowych. Zaproponowano oryginalne rozwiązanie techniczne pozwalające na stworzenie dwuźródłowego elipsometu spektroskopowego z przełączaniem ortogonalnych stanów polaryzacji. Układ pomiarowy zapewnia wysoką precyzję pomiarów parametrów elipsometrycznych Ψ i Δ w zakresie spektralnym 270–2200 nm i prędkości wyznaczonej przez charakterystyki źródeł impulsowych przy prostej konstrukcji elipsometru. Jako obiekty do badań eksperymentalnych potwierdzających wydajność i wysoką precyzję proponowanego elipsometu spektroskopowego, wykorzystano ćwierćfalowy przyrząd GaAs/ZnS dla lasera CO2 oraz płytki kalibracyjne SiO2 na krzemie. Właściwości optyczne warstw Bi2Te3-xSex zbadano w zakresie 270–1000 nm przy użyciu wielokątowego elipsometu spektroskopowego. Wykazano, że właściwości optyczne cienkich warstw Bi2Te3-xSex zmieniają się monotonicznie w zależności od stosunku zawartości selenu i telluru.

show abstract

Section: Introductionmentioning

confidence: 99%

Section: Introductionmentioning

confidence: 99%